[实用新型]应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置

权利要求书

1.应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置，其特征在于：包括铜棍本体(1)和基座(3)，所述铜棍本体(1)在面向基座(3)的一端上设置有螺纹柱(2)，所述基座(3)在面向螺纹柱(2)的一端内设置有螺纹槽(4)；所述基座(3)包括椭圆部分和等腰部分，所述椭圆部分和等腰部分为平滑过度且一体成型结构，所述基座(3)上开设有三个通孔。

2.根据权利要求1所述的应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置，其特征在于：所述铜棍本体(1)整体呈圆柱状结构。

3.根据权利要求1所述的应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置，其特征在于：所述基座(3)在靠近铜棍本体(1)的一端横截面呈等腰部分且为等腰梯形结构；另一端为椭圆部分且为椭圆状结构。

4.根据权利要求1所述的应用于化学气相沉积设备的射频偏压导电装置，其特征在于：所述基座(3)上的三个通孔也呈等边三角形设置。