[实用新型]排布紧密的垂直腔面发射激光器

说明书

本实用新型提供了一种排布紧密的垂直腔面发射激光器，包括：隔离层，隔离层包括多边形的主体部以及设置在多边形的各个角部的附加部；金属层，金属层具有多个间隔设置的P型接触电极，多个P型接触电极分别设置在多边形的主体部的不同的角部及对应角部的附加部上，且P型接触电极均朝向背离主体部的中心的方向延伸；电介质通孔层，电介质通孔层设置在P型接触电极远离主体部的一侧，电介质通孔层具有多个电介质通孔，多个电介质通孔与多个P型接触电极一一对应设置，以使得P型接触电极的至少一部分裸露；多个氧化沟槽，氧化沟槽的至少一部分位于相邻的P型接触电极之间。本实用新型解决了现有技术中垂直腔面发射激光器存在不能小型化的问题。

技术领域

本实用新型涉及激光设备技术领域，具体而言，涉及一种排布紧密的垂直腔面发射激光器。

背景技术

常规的VCSEL(垂直腔面发射激光器)的台面结构一般是圆形，圆形台面的优势是比较明显的，比如电流注入的均匀性以及保证氧化孔经的完美圆形等。但随着离子注入以及挖孔沟槽结构的提出，这种圆形台面结构就显得没那么必要了，而随着VCSEL技术在近年来得到了迅速的发展，在性能方面已经有了较大的提升，然而在激烈的市场竞争形势下，芯片尺寸和成本必然也是产品端客户考虑的重点。另外，随着VCSEL进入激光雷达市场，较大的功率密度需求也是目前VCSEL急需克服的问题之一，因此在保证性能一致的情况下，小型化的结构势必能够起到很好的提升作用。

也就是说，现有技术中垂直腔面发射激光器存在不能小型化的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种排布紧密的垂直腔面发射激光器，以解决现有技术中排布紧密的垂直腔面发射激光器存在不能小型化的问题。

为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种排布紧密的垂直腔面发射激光器，包括：隔离层，隔离层包括多边形的主体部以及设置在多边形的各个角部的附加部；金属层，金属层具有多个间隔设置的P型接触电极，多个P型接触电极分别设置在多边形的主体部的不同的角部及对应角部的附加部上，且P型接触电极均朝向背离主体部的中心的方向延伸；电介质通孔层，电介质通孔层设置在P型接触电极远离主体部的一侧，电介质通孔层具有多个电介质通孔，多个电介质通孔与多个P型接触电极一一对应设置，以使得P型接触电极的至少一部分裸露；多个氧化沟槽，氧化沟槽的至少一部分位于相邻的P型接触电极之间。

进一步地，主体部为正多边形。

进一步地，P型接触电极包括连接部和伸出部，连接部与主体部连接且位于主体部的外周缘的内侧。

进一步地，各个连接部上远离伸出部的一侧的侧边与主体部的中心之间的距离均相等。

进一步地，连接部上远离伸出部的一侧的侧边呈弧形。

进一步地，连接部上背离主体部的中心的一侧的侧边与主体部的外周缘平齐。

进一步地，连接部具有位于伸出部两侧的连接翼，以增加连接部与隔离层的连接面积。

进一步地，电介质通孔与伸出部对应，以使伸出部裸露。

进一步地，主体部为多个且间隔设置，且相邻的三个主体部上彼此靠近的三个附加部一体成型。

进一步地，主体部为多个且间隔设置，且相邻的三个主体部共用一个P型接触电极，相邻的两个主体部之间共用一个氧化沟槽。

进一步地，氧化沟槽为多边形结构，多边形结构的至少一个边与主体部的侧边平行。

进一步地，多边形的主体部的边包括直边和/或弧边。