[实用新型]一种光电二极管及光电二极管探测器有效

专利信息
申请号: 202123437530.7 申请日: 2021-12-29
公开(公告)号: CN216624292U 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 祁春超;樊堃;仇筱乐 申请(专利权)人: 杭州海康威视数字技术股份有限公司
主分类号: H01L31/0216 分类号: H01L31/0216;H01L31/102;H01L27/146
代理公司: 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 代理人: 王剑
地址: 310051 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 光电二极管 探测器
【权利要求书】:

1.一种光电二极管,其特征在于,所述光电二极管包括:

第一导电类型衬底,所述第一导电类型衬底具有相对的第一表面和第二表面;其中,所述第一导电类型衬底的第一表面所在的一侧为入光侧;

第一注入区,位于所述第一导电类型衬底中并自所述第一导电类型衬底的第二表面外露;所述第一注入区的材料为第二导电类型材料;

反射层,位于所述第一注入区背离所述第一导电类型衬底第二表面的一侧;

第二注入区,位于所述第一导电类型衬底中并位于所述第一注入区外围;所述第二注入区的材料为第一导电类型材料。

2.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述反射层呈平直状。

3.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述反射层的至少部分为向背离所述第一导电类型衬底的一侧凸起的弯曲状结构。

4.如权利要求3所述的光电二极管,其特征在于,所述反射层呈弓形状弯曲或球冠状弯曲。

5.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述反射层的尺寸与所述第一注入区的尺寸一致。

6.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述反射层为由不同光学厚度的高折射率材料层和低折射率材料层形成的多层介质反射层。

7.如权利要求6所述的光电二极管,其特征在于,所述高折射率材料层的材料为HfO2,所述低折射率材料层的材料为SiO2

8.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述第一导电类型衬底的厚度范围为50μm-200μm。

9.如权利要求1所述的光电二极管,其特征在于,所述光电二极管包括设于所述第一导电类型衬底第二表面外的第一电极线及第二电极线,所述第一电极线与所述第一注入区电连接;所述第二电极线与所述第二注入区电连接;

所述第一导电类型衬底的侧面设有与所述第一电极线连接的第一电极及与所述第二电极线连接的第二电极。

10.一种光电二极管探测器,其特征在于,所述光电二极管探测器包括多个如权利要求1至9中任一项所述的光电二极管,所述多个光电二极管呈阵列排布。

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