[实用新型]一种带有感应功能的晶圆片盒限位座有效
| 申请号： | 202123453023.2 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN216563037U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 彭朋;董自锐;吴小祥;赵斌 | 申请（专利权）人： | 尹成机电科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人： | 周洁 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 带有 感应 功能 晶圆片盒 限位 | ||
1.一种带有感应功能的晶圆片盒限位座，其特征在于，包括：
固定基座、传感器、落座和控制模块；其中
所述落座卡合在固定基座上，形成限位基座，所述传感器设置在限位基座内；
所述限位基座适于支撑晶圆片盒并限位，所述传感器适于在检测到限位基座上盛放有晶圆片盒时发出有盒信号；
所述控制模块与传感器电性连接，适于在接收到所述有盒信号时，控制外接设备启动。
2.如权利要求1所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
所述落座的顶面开设有导向斜面；
所述晶圆片盒适于通过导向斜面导向后落于落座的顶面。
3.如权利要求2所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
所述落座的侧面开设有若干卡槽；
所述落座适于通过卡槽与固定基座相卡合。
4.如权利要求3所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
所述固定基座包括：底板、两根支撑架、限位架和若干卡扣；其中
各所述卡扣分别设置在底板的边沿，且与对应的卡槽适配；
所述落座与固定基座通过卡槽与卡扣的扣合相固定。
5.如权利要求4所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
两所述支撑架均竖直设置在底板上，所述限位架设置在两根支撑架之间；
所述支撑架、限位架与卡扣环绕形成安装槽；
所述传感器设置在安装槽内。
6.如权利要求5所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
所述支撑架的上部开设有与导向斜面适配的倒角。
7.如权利要求6所述的晶圆片盒限位座，其特征在于，
所述底板的中间开设有过孔；
所述传感器的连接线通过过孔与外界连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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