[实用新型]一种中空膜丝脱气装置

说明书

本实用新型涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气装置,用于去除料液内夹带的气体,它包括筒体和盖体，所述盖体密封盖合在筒体上以形成容腔，所述盖体上设置有进液口、出液口和抽气口；它还包括：连接件，其可穿过进液口和出液口以用于连通中空膜丝和外部管道；以及，其具有焊接时熔化的第一焊接环,该第一焊接环具有第一外径尺寸D1、第一内径尺寸D2；花板，其具有密封连接上述中空膜丝的固定孔；以及，具有熔点高于第一焊接环的第二焊接环，该第二焊接环具有第二外径尺寸D3、第二内径尺寸D4；其中，第一焊接环和第二焊接环的尺寸关系为：D1≥D3＞D4≥D2；其密封性能可靠。

技术领域

本实用新型涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气装置。

背景技术

在显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业生产流程中需要对所使用的光刻胶在特定波长的光下曝光特定的时间，使其能通过光化学反应，使各种物质发生不同的化学结构变化。当在电路板上对光刻胶进行涂布时，如果光刻胶内存有残留气泡的话，会出现光刻胶涂布精度下降、电路板出现品质缺陷或光刻胶显影缺陷的情况，为了防止其出现，会在制程之前设置气液分离中空膜丝组件。

现有的中空膜丝脱气装置组装过程中，需要将中空膜丝一根一根固定在花板的固定孔上，花板和连接件通过焊接密封连接后一同固定在壳体上，这些花板和连接件一般是一次性的，一旦因为焊接误差过大而不满足使用要求，需要重新在花板上固定中空膜丝，将花费大量的重复劳动，因此，增加花板与连接件间的焊接容错率、提高焊接后的密封性能是非常重要的。

有鉴于此，提出本申请。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种中空膜丝脱气装置。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种中空膜丝脱气装置，用于去除料液内夹带的气体,它包括筒体和盖体，所述盖体密封盖合在筒体上以形成容腔，所述盖体上设置有进液口、出液口和抽气口；它还包括：

连接件，其可穿过进液口和出液口以用于连通中空膜丝和外部管道；以及，其具有焊接时熔化的第一焊接环,该第一焊接环具有第一外径尺寸D1、第一内径尺寸D2；

花板，其具有密封连接上述中空膜丝的固定孔；以及，具有熔点高于第一焊接环的第二焊接环，该第二焊接环具有第二外径尺寸D3、第二内径尺寸D4；

其中，第一焊接环和第二焊接环的尺寸关系为：D1≥D3＞D4≥D2。

通过该技术方案，即使第一焊接环和第二焊接环在焊接对准时存在一定的径向偏差，只需要第二焊接环的外壁位于第一焊接环外壁的内侧，就能使第二焊接环顶部的表面完全位于第一焊接环底部表面内，即，本实用新型的技术方案中的最小密封面的面积为该密封面为一字型。且该密封面可避免了因第一焊接环与第二焊接环之间焊接不牢固而发生漏液；

此外，本实施例中，第二焊接环的宽度小于第一焊接环，减小了传热面积，使得在焊接中降低花板所吸收的热量，以防止大量能量传递至中空膜丝与固定孔的连接处，进而避免使该连接处的中空膜丝和固定孔受热产生形变，甚至材料部分熔化导致脱气组件漏液。需要补充的是，中空膜丝与固定孔的连接处在受高温影响是极易产生形变的，一般的，中空膜丝和固定孔的焊接过程中，我们会先将中空膜丝插入固定孔内，而后采用销钉插入中空膜丝插入固定孔的端部，支撑中空膜丝以避免焊接高温造成中空膜丝形变。

进一步地，所述第一焊接环为PFA焊接环，该PFA焊接环熔化后与第二焊接环对接以形成L形或U形密封面。

通过以上技术方案，当密封面为L形或U形时，第一焊接环和第二焊接环之间的密封面积更大，花板与连接件之间的焊接结构更加稳定。