[实用新型]一种中空膜丝脱气组件

说明书

本实用新型涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气组件,用于去除料液内溶解的气体，它包括壳体，该壳体具有密闭设置的容腔；且该壳体表面设置有进液口、出液口和抽气口，所述进液口、出液口位于壳体的同一侧，所述抽气口连通抽气装置以用于降低容腔气压；它还包括：中空膜丝束，其两端部分别密封设置在进液口和出液口上以在容腔内形成料液流道；且其由多根中空膜丝组成，每根中空膜丝具有允许气体通过但不允许液体通过的壁；此外，所述中空膜丝束至少有部分在容腔内螺旋设置；且，设中空膜丝的长度尺寸为A，容腔的深度尺寸为B，则A≥3.3B,该技术方案下的脱气组件可增加排气效率。

技术领域

本实用新型涉及气液分离用中空膜丝组件领域，尤其涉及一种中空膜丝脱气组件。

背景技术

在显示面板、集成电路和半导体分立器件等细微图形加工作业生产流程中需要对所使用的光刻胶在特定波长的光下曝光特定的时间，使其能通过光化学反应，使各种物质发生不同的化学结构变化。当在电路板上对光刻胶进行涂布时，如果光刻胶内存有残留气泡的话，会出现光刻胶涂布精度下降、电路板出现品质缺陷或光刻胶显影缺陷的情况，为了防止其出现，会在制程之前设置气液分离中空膜丝组件。

现有技术中公开的气液分离中空膜丝组件，主要包括壳体、花板和中空膜丝，壳体内设置有容腔，中空膜丝密封连接在花板的固定孔上，通过在容腔内灌注料液，在中空膜丝内抽真空，将被料液中的夹带的气体吸入膜内而进行脱气；但该种技术方案需要将中空膜丝间间距设置在2.6mm以上，以使各中空膜丝与固定孔连接处均匀受热进而保证密封性，对于料液的脱气来说，料液中夹带的气体距离中空膜丝的路径过长，气体难以进入中空膜丝内部的流道中排出。因此，本领域的技术人员目前应用较多的技术方案为在中空膜丝的膜内灌注料液，通过膜外制造真空环境以将料液中夹带的气体脱出料液，这样气体排出的最远路径相当于二分之一中空膜丝的内径，该种脱气方法的脱气质量有一定增加，但由于料液在中空膜丝内流动的时间不足依然无法满足下游的使用需求。本领域的技术人员也想过通过增加中空膜丝的长度来增加料液流动的时间，但脱气质量依然不是很好。有鉴于此，特提出本申请。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种中空膜丝脱气组件。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种中空膜丝脱气组件，用于去除料液内夹带的气体，它包括壳体，该壳体具有密闭设置的容腔；且该壳体表面设置有进液口、出液口和抽气口，所述进液口、出液口位于壳体的同一侧，所述抽气口连通抽气装置以用于降低容腔气压；它还包括：

中空膜丝束，其两端部分别密封设置在进液口和出液口上以在容腔内形成料液流道；且其由多根中空膜丝组成，每根中空膜丝具有允许气体通过但不允许液体通过的壁；

此外，所述中空膜丝束至少有部分在容腔内螺旋设置；且，设中空膜丝的长度尺寸为A，容腔的深度尺寸为B，则A≥3.3B。

本实用新型的脱气模组，其通过在膜内灌注料液，可以使料液的流动线路更加确定，且通过中空膜丝的内径限定了料液中夹带的气泡与中空膜丝壁的最远距离，从而可使气泡快速通过中空膜丝的壁进入到容腔内。

通过设置中空膜丝的长度尺寸为A与容腔的深度尺寸的比值为B为A/B≥3.3，可知中空膜丝的长度远大于容腔的深度；进而在相同的料液流速下增加了料液在容腔内流动的时间，料液中气泡具具有更充分的时间通过中空膜丝的壁进入到容腔内。又可在满足脱气质量的前提下，尽可能的增加料液在中空膜丝中流动的流速，以增加脱气模组过滤料液的流量。结合中空膜丝束至少有部分在容腔内螺旋设置，可以使中空膜丝束在容腔内排列更加规整，也可以使中空膜丝束在容腔内不容易破裂，进而增加脱气组件的使用寿命。

此外，螺旋设置的中空膜丝束结合上述中空膜丝的长度尺寸为A与容腔的深度尺寸B的比值，还可以使容腔在容纳中空膜丝的基础上依然使中空膜丝具有气体交换的空间，脱气效率更高。