[实用新型]芯片测试装置

权利要求书

1.芯片测试装置，包括工作台、测试盒和探针阵列，所述测试盒和所述探针阵列分别设置在所述工作台上，且所述探针阵列与所述测试盒电连接，其特征在于：

所述芯片测试装置还包括顶板、顶升控制机构、移动控制机构和容纳槽，所述顶板在Z轴方向上位于所述探针阵列的下方；

所述顶升控制机构可控制所述顶板在Z轴方向上移动，所述移动控制机构可控制所述顶板在Y轴方向上移动；

所述容纳槽设置在所述顶板上，且所述容纳槽内填充有酒精。

2.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述芯片测试装置还包括海绵，所述海绵放置在所述容纳槽内。

3.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述芯片测试装置还包括喷嘴，所述喷嘴的进液端与酒精存储腔相连通，所述喷嘴的出液端在Z轴方向上位于所述容纳槽的上方。

4.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述顶升控制机构为顶升气缸，所述顶升气缸的活塞杆在Z轴方向上延伸并与所述顶板连接。

5.根据权利要求4所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述顶板设置有在Z轴方向上延伸的滑轨，所述工作台上设置有滑块，所述滑轨可在Z轴方向上移动地与所述滑块配合。

6.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述探针阵列通过平板安装在所述工作台上，所述平板上设置有止动螺栓，所述止动螺栓在Z轴方向上位于所述顶板的上方，且所述顶板可抵压在所述止动螺栓的聚氨酯端。

7.根据权利要求1所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述移动控制机构包括移动板、移动电机、移动丝杆和移动螺母，所述移动丝杆在Y轴方向上延伸，所述移动电机安装在所述工作台上并控制所述移动丝杆绕Y轴旋转，所述移动螺母可在Y轴方向上移动地套设在所述移动丝杆上；

所述移动板安装在所述移动螺母上，所述顶升控制机构和所述顶板设置在所述移动板上。

8.根据权利要求7所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述工作台上设置有第一光电感应器，所述第一光电感应器位于所述移动丝杆在Y轴方向上的第一端，且所述第一光电感应器开设有第一过槽，所述移动板上设置有第一分割片，所述第一分割片在Y轴方向上可移动地插入所述第一过槽内；

和/或，所述工作台上设置有第二光电感应器，所述第二光电感应器位于所述移动丝杆在Y轴方向上的第二端，且所述第二光电感应器开设有第二过槽，所述移动板上设置有第二分割片，所述第二分割片在Y轴方向上可移动地插入所述第二过槽内。

9.根据权利要求1至8任一项所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述芯片测试装置还包括治具板和调节机构，所述治具板设置在所述顶板上，所述调节机构可调节所述治具板在X轴方向上的位置；

所述治具板凸出设置有两个定位销，两个所述定位销关于所述治具板的中心线对角设置。

10.根据权利要求9所述的芯片测试装置，其特征在于：

所述调节机构包括第一固定板、第二固定板、锁紧板、锁紧螺栓和微调千分杆，所述第一固定板安装在所述顶板上，所述治具板安装在所述第二固定板上，所述第一固定板在Z轴方向上远离所述顶板的端面凸出设置有凸台，所述凸台在X轴方向上延伸；

所述第二固定板可在X轴方向上移动地设置在所述第一固定板上，所述第二固定板在Z轴方向上靠近所述第一固定板的端面开设有凹槽，所述凸台位于所述凹槽内；

所述锁紧板设置在所述第一固定板的第一侧面，所述锁紧板开设有腰型槽，所述腰型槽在X轴方向上延伸，所述第二固定板的第一侧面开设有螺纹孔，所述锁紧螺栓可穿过所述腰型槽与所述螺纹孔连接；

所述第一固定板在Y轴方向上与所述第一固定板第一侧面相对设置的第二侧面设置有所述微调千分杆，所述第二固定板在Y轴方向上与所述第二固定板第一侧面相对设置的第二侧面设置有挡块，所述微调千分杆可迫使所述挡块在X轴方向上移动。