[实用新型]旋转加热台及二维材料转移装置有效

专利信息
申请号: 202123455831.2 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN216573178U 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 陈汉阳;杨蓉;许智;张广宇;李秀 申请(专利权)人: 松山湖材料实验室
主分类号: B01L7/00 分类号: B01L7/00;G01N1/44;G01B21/22;G01B7/30
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 王丽莎
地址: 523808 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 旋转 加热 二维 材料 转移 装置
【说明书】:

本申请提供一种旋转加热台及二维材料转移装置,属于二维材料制备领域。旋转加热台包括安装底座、旋转台以及加热台。安装底座内设有安装腔,安装腔内固定有导电滑环;安装底座的顶部贯穿设有与安装腔连通的安装通道。旋转台固定于安装底座的顶部;旋转台的旋转中心贯穿设有与安装通道连通的旋转通道。加热台固定于旋转台的旋转台面;加热台内设有负压腔;加热台的顶部具有加热组件,加热组件内设有负压通道;加热台的底部设有与负压腔连通的导气管,导气管可转动地穿设于旋转通道并与安装通道可转动地连接;加热组件的导线穿过导气管与导电滑环电连接。能解决旋转受到线束和真空管约束的问题并缓解加热台旋转对线束和真空管造成的损伤。

技术领域

本申请涉及二维材料制备领域,具体而言,涉及一种旋转加热台及二维材料转移装置。

背景技术

加热台是制备二维材料的常用组件,其设有电加热结构,用于对样品进行加热。在对底部进行加热前,需要将样品固定在电加热结构的顶部。在一些情况下,采用真空吸附的方式对样品进行固定,其在电加热结构的顶部开设有能够连通抽气结构的小孔,将样品放置在电加热结构的顶部后,通过抽气结构对小孔进行抽气,便可通过负压作用将样品固定在电加热结构的顶部。

目前,负压吸附形式的加热台在使用时,一方面,受到线束和真空管的约束,旋转范围较小,需要用镊子或其他工具将样品手动拨动到合适的角度,导致操作工作量增加,当在手套向内进行操作时还有可能会不小心损坏样品;另一方面,线束和真空管随加热台的旋转来回扭动,会降低加热台的使用寿命。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种旋转加热台及二维材料转移装置,能解决旋转受到线束和真空管约束的问题,加热台能够旋转到任意角度,无需手动调整样品角度;能缓解加热台旋转对线束和真空管造成的损伤,能提高加热台的使用寿命。

本申请的实施例是这样实现的:

第一方面,本申请实施例提供一种旋转加热台,包括安装底座、旋转台以及加热台。安装底座内设有安装腔,安装腔内固定有导电滑环;安装底座设有与导电滑环电连接的插头和与安装腔连通的真空管接头;安装底座的顶部贯穿设有与安装腔连通的安装通道。旋转台固定于安装底座的顶部;旋转台的旋转中心贯穿设有与安装通道连通的旋转通道。加热台固定于旋转台的旋转台面;加热台内设有负压腔;加热台的顶部具有加热组件,加热组件内设有与负压腔连通的负压通道,负压通道具有开设于加热组件顶部端面的负压吸附孔;加热台的底部设有与负压腔连通的导气管,导气管可转动地穿设于旋转通道并与安装通道可转动地连接;加热组件的导线穿过导气管与导电滑环电连接。

上述技术方案中,在加热台的底部设置导气管,导气管连通于负压腔和安装腔之间,便于在安装底座的真空管接头处连接负压设备进行抽气;其中,导气管可转动地穿设于旋转台的旋转中心处的旋转通道,旋转台带动加热台进行转动时,导气管绕旋转台的旋转中心做自转运动。因此,旋转加热台整体的抽气管路不会约束加热台的转动,加热台的转动也不会对抽气管路造成损伤。

将导线穿过导气管与导电滑环电连接,然后通过与导电滑环电电连接的插头与外部电路连通。在加热台转动时,导线绕导电滑环进行滑动,导线不会约束加热台的转动,加热台的转动也不会对导线造成损伤。

在一些可选的实施方案中,导电滑环与安装通道同轴设置。

上述技术方案中,导电滑环与安装通道同轴,此时导电滑环与导气管同轴,使得从导气管伸出的导向能够更好地导电滑环配合。

在一些可选的实施方案中,旋转台设有转动角测量组件,用于测量旋转台面的转动角度。

上述技术方案中,转动角测量组件能够测量旋转台面的转动角度,相较于人工读数,能够获取较为准确的转动角度,方便制备相位角精度要求高的样品。

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