[发明专利]流通池在审

专利信息
申请号: 202180004207.4 申请日: 2021-04-20
公开(公告)号: CN114207518A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: A·里奇斯 申请(专利权)人: 伊鲁米纳剑桥有限公司
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00;G03F7/004;G03F7/027
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 陈文平;黄海波
地址: 英国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 流通
【说明书】:

一种流通池的示例包括基底以及该基底上的固化的图案化树脂。该固化的图案化树脂具有由间隙区域分开的纳米凹入部。每个纳米凹入部具有在约10nm至约1000nm范围内的最大开口尺寸。该固化的图案化树脂还包括互穿聚合物网络。该固化的图案化树脂的该互穿聚合物网络包括环氧基聚合物和(甲基)丙烯酰基聚合物。

相关申请的交叉引用

本申请要求2020年4月24日提交的美国临时申请序列号63/015,259的权益,该临时申请的内容全文以引用方式并入本文。

背景技术

纳米压印技术能够经济有效地生产纳米结构。纳米压印光刻采用通过具有纳米结构的压模使抗蚀剂材料直接机械变形。在压模处于适当位置的同时将抗蚀剂材料固化以锁定抗蚀剂材料中纳米结构的形状。

发明内容

在第一方面,流通池包括基底;以及所述基底上的固化的图案化树脂,所述固化的图案化树脂包括由间隙区域分开的纳米凹入部,所述纳米凹入部各自具有在约10nm至约1000nm范围内的最大开口尺寸,并且所述固化的图案化树脂包括互穿聚合物网络,所述互穿聚合物网络包括环氧基聚合物和(甲基)丙烯酰基聚合物。

第一方面的示例还包括位于所述基底上的光栅层;以及位于所述光栅层上的平面波导层。在一个示例中,所述互穿聚合物网络的折射率在约1.35至约1.52的范围内;并且所述平面波导层的折射率在约1.6至约2.5的范围内。

第一方面的示例还包括定位于所述纳米凹入部中的每一个中的水凝胶;以及附接到所述水凝胶的扩增引物。

在第一方面的示例中,所述固化的图案化树脂的厚度在约225nm至约600nm的范围内。

在第一方面的示例中,其中所述环氧基聚合物与所述(甲基)丙烯酰基聚合物的重量比在25:75至约75:25的范围内。

应当理解,本文所公开的流通池的任何特征可以任何期望的方式和/或构型组合在一起,以实现如本公开所述的益处,包括例如具有带有一个或多个调谐特性的压印层。

在第二方面,方法包括在基底上施加树脂混合物,所述树脂混合物包含以预定重量比存在于所述树脂混合物中的两个独立可交联单体,所述两个独立可交联单体中的第一个是阳离子可聚合单体,并且所述两个独立可交联单体中的第二个是自由基可聚合单体;用具有多个纳米特征部的工作压模压印所述树脂混合物;以及在所述工作压模处于适当位置的同时固化所述树脂混合物,从而形成压印有流通池纳米凹入部的互穿聚合物网络。

在第二方面的示例中,所述阳离子可聚合单体是多官能环氧单体,并且其中所述自由基可聚合单体是多官能(甲基)丙烯酰单体。在一个示例中,所述多官能环氧单体选自由以下项组成的组:

i)2,4,6,8-四甲基-2,4,6,8-四(丙基缩水甘油醚)环四硅氧烷:

ii)四(环氧环己基乙基)四甲基环四硅氧烷:

iii)二缩水甘油醚封端的聚(二甲基硅氧烷):

其中4n8;

iv)聚(丙二醇)二缩水甘油醚:

其中5n10;

v)3,4-环氧环己烷羧酸3,4-环氧环己基甲酯:

vi)溴化双酚A二缩水甘油醚:

vii)缩水甘油基封端的聚(双酚A-共-表氯醇):

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