[发明专利]高频电力电路、等离子处理装置、及等离子处理方法

权利要求书

1.一种高频电力电路，具备：

第一天线电路，其串联连接多个第一电路元件；及

第二天线电路，其串联连接多个第二电路元件；

所述第一天线电路与所述第二天线电路并联连接于与高频电源连接的匹配器，

所述高频电力电路进一步具备控制部，该控制部控制所述第一电路元件的驱动和所述第二电路元件的驱动，

所述多个第一电路元件具备：用于生成等离子的第一天线；第一分配用电容器，其位于所述第一天线与所述匹配器之间；及第一可变电容器；

所述多个第二电路元件具备：用于生成等离子的第二天线；第二分配用电容器，其位于所述第二天线与所述匹配器之间；及第二可变电容器；

所述控制部依据生成等离子时的所述第一天线与所述第一可变电容器的串联部的电流与电压的第一相位差的检测结果，以该第一相位差变小的方式设定所述第一可变电容器的电容值，并且

依据生成等离子时的所述第二天线与所述第二可变电容器的串联部的电流与电压的第二相位差的检测结果，以该第二相位差变小的方式设定所述第二可变电容器的电容值。

2.如权利要求1所述的高频电力电路，其中，

所述第一天线位于所述第一分配用电容器与所述第一可变电容器之间，

所述第二天线位于所述第二分配用电容器与所述第二可变电容器之间。

3.如权利要求1所述的高频电力电路，其中，

所述第一可变电容器位于所述第一分配用电容器与所述第一天线之间，

所述第二可变电容器位于所述第二分配用电容器与所述第二天线之间。

4.如权利要求1至3的任一项所述的高频电力电路，其中，具备：

第一电流检测部，其检测所述第一天线中的电流；

第一电压检测部，其检测所述第一天线中的电压；

第二电流检测部，其检测所述第二天线中的电流；及

第二电压检测部，其检测所述第二天线中的电压；

所述控制部依据所述第一电流检测部与所述第一电压检测部的检测结果，以所述第一天线与所述第一可变电容器的串联部中的电流的相位与电压的相位一致的方式设定所述第一可变电容器的电容值，并且

依据所述第二电流检测部与所述第二电压检测部的检测结果，以所述第二天线与所述第二可变电容器的串联部中的电流的相位与电压的相位一致的方式设定所述第二可变电容器的电容值。

5.如权利要求4所述的高频电力电路，其中，

所述第一分配用电容器及所述第二分配用电容器是可变电容器，

所述控制部在所述高频电源供给电力之前，进行设定所述第一天线的电流值与所述第二天线的电流值之比的目标值的处理，该处理以所述第一分配用电容器的电容值越大，所述第二分配用电容器的电容值越小的方式使所述第一分配用电容器的驱动与所述第二分配用电容器的驱动连动，由此设定所述第一分配用电容器及所述第二分配用电容器的各电容值。

6.如权利要求5所述的高频电力电路，其中，

所述第一电压检测部对所述第一天线具备的两端的电压分别进行检测，

所述控制部保持依据所述第一天线与所述第一可变电容器的串联部的电流与电压的第一相位差的检测结果以该第一相位差变小的方式所设定的所述第一可变电容器的电容值与所述第一分配用电容器的电容值的合成电容，且以改变依据所述第一电压检测部的检测结果所获得的所述第一天线中的电压分布的方式，再设定所述第一可变电容器的电容值和所述第一分配用电容器的电容值。

7.如权利要求6所述的高频电力电路，其中，

所述第二电压检测部对所述第二天线具备的两端的电压分别进行检测，

所述控制部保持依据所述第二天线与所述第二可变电容器的串联部的电流与电压的第二相位差的检测结果以该第二相位差变小的方式所设定的所述第二可变电容器的电容值与所述第二分配用电容器的电容值的合成电容，且以改变依据所述第二电压检测部的检测结果所获得的所述第二天线中的电压分布的方式，再设定所述第二可变电容器的电容值和所述第二分配用电容器的电容值。