[发明专利]光电压探头

说明书

一种光电压探头，具有光调制器1、与光调制器1连接的输入输出光纤2、2个接触端子安装部5及6、收纳了光调制器1和输入输出光纤2的一部分的封装件8；光调制器1具备2个调制电极11及12，依存于调制电极间电压对入射光进行强度调制而输出；2个接触端子安装部5及6具有可将可与被测定点接触的接触端子3及4连接起来的结构，分别与调制电极11及12连接；介于接触端子3及4感应出的电压信号转换成光强度调制信号而输出；其中，封装件8具有这样的电波屏蔽效果：将接触端子安装部5及6开放而照射测定频率的电波时，相对于该封装件不存在时输出信号强度产生15dB以上的衰减。

技术领域

本发明涉及将从接触端子得到的电压信号施加于光调制器而转换成光调制信号、通过光纤输出其光调制信号的光电压探头。

背景技术

近年，有各种各样的采用高速CPU等的控制装置被开发出来，作为防止误动作之对策，对其电路基板等产生的噪声信号进行检测，对电路基板等进行噪声耐受性测试等。这些测试中，要求对电路基板上所设置的电气部件的输入输出信号、布线上传导的电信号进行准确测定。

对电气部件或布线的电信号进行测定的一般方法是这样的方法：通过具有接触端子的电探头将被测定点的电信号导入示波器等测定器，对传导来的电压波形等进行测定。但是，当被测定点的地平面与测定器不同时或测定没接地的2点间电压信号时，因混入来自地线的信号或电探头所具有电容的影响等，就难以准确测定电压波形。尤其是高频领域中上述的接地或电容的影响颇大。进一步，在IC、LSI等集成回路中，输入阻抗和输出阻抗非50Ω的多，譬如，放大器元件就是高阻抗输入、低阻抗输出。因此，若使用输入阻抗小的电探头测定噪声输入电压，则造成电探头侧流入电流，使得本应测定的噪声电压下降。

作为解决该问题的手段，开发了一种使用光电压探头的测定器，光电压探头将电压信号转换成光信号，通过光纤将该光信号导入测定器。该方式中，由于探头所有的电容成分非常小，所以输入阻抗非常高，被测定点与测定器被完全地电隔离。用光电压探头能测到高频成分，能防止接地影响或中途混入电信号噪声等。

这种已有测定器的例子在专利文献1和2都有记载。专利文献1记载了一种采用电容型光调制器的光电压探头。即，其结构是这样的：对在其间夹有具有电光效应的晶体的2个电极间施加接触端子的电压信号，在上述晶体中使从光纤传送来的入射光反射，使偏振光状态变化，将该变化成分通过检光子当作光强度调制光用光纤导入O/E转换器。专利文献2记载了一种采用波导路型光调制器的光电压探头，对铌酸锂晶体基板上所形成的分枝干扰型光调制器的2个调制电极间施加接触端子的电压信号，得到光强度调制信号，用光纤将具备光源和O/E转换器的装置与光电压探头连接起来。

已有技术文献

专利文献

专利文献1：特开昭63-196863号公报

专利文献2：特开平8-35998号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

如上所述，已有光电压探头能够去除如电探头的接地影响，能防止混入到测定器的布线途中的电信号噪声。但是，已有光电压探头却无法排除在光电压探头周围空间传播而直接到达调制电极的电磁波噪声的影响。其原因在于，通常，光调制器的调制电极，如上所述，输入阻抗高，从接触端子到调制电极的途中的布线起到了接收电波的天线的作用。

本发明的目的就在于提供一种光电压探头，其能解决上述问题，能不受周围电磁波噪声影响地准确测定被测定点电压信号。

解决问题的技术手段