[发明专利]用于检查产品的方法和系统在审

专利信息
申请号: 202180012158.9 申请日: 2021-01-29
公开(公告)号: CN115053123A 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 阿萨夫·施勒岑杰 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01N21/88;G01N21/90;G01N21/89
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 检查 产品 方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于检查的系统,包括:

检查路径;

多个相机,所述多个相机围绕所述检查路径定位并具有包括所述检查路径的视场,使得所述多个相机中的每一者同时捕获所述产品的图像,使得所述产品的每个表面被捕获在至少一个同时捕获的所述图像中;以及

处理系统,所述处理系统包括存储器和处理器,所述处理系统包含计算机可读指令以用于:

将所述产品的同时捕获的所述图像聚合到单个文件中;

解析所述单个文件,以提取所述产品的物理特征;以及

将所述产品的所述物理特征与产品标准的物理特征进行比较,以产生比较文件。

2.如权利要求1所述的系统,其中所述多个相机的一部分围绕所述检查路径被定位为与所述多个相机中的单个相机大致相对。

3.如权利要求2所述的系统,进一步包括:

镜,所述镜具有包括所述检查路径的视场,所述镜以与所述多个相机中的每个相机不同的角度定位,并且所述多个相机中的一者光学耦合到所述镜。

4.如权利要求3所述的系统,进一步包括:

致动器,所述致动器被配置为当所述产品在所述检查路径上时触发所述多个相机同时捕获所述产品的所述图像。

5.如权利要求1所述的系统,其中所述产品分配器是片剂压制机和片剂除尘器中的一者。

6.如权利要求1所述的系统,其中所述检查路径包括所述产品的行进轨迹。

7.如权利要求1所述的系统,其中所述检查路径包括对由所述多个相机中的至少一个相机所采用的光波长透明的材料的管。

8.一种用于检查的方法,包括:

沿着检查路径分配产品;

将多个相机围绕所述检查路径定位并光学耦合到所述检查路径;

利用所述多个相机中的每个相机基本上同时地捕获所述产品的多个图像,使得所述产品的每个表面被捕获在所述多个图像中的至少一者中;

将所述产品的所述多个图像聚合到单个文件中;

解析所述单个文件,以提取所述产品的物理特征;以及

将所述产品的所述物理特征与片剂标准的物理特征进行比较,以产生比较文件。

9.如权利要求8所述的方法,其中定位所述多个相机的步骤进一步包括:将所述多个相机的一部分围绕所述检查路径定位为与所述多个相机中的单个相机大致相对。

10.如权利要求9所述的方法,进一步包括:

以与所述多个相机中的每个相机不同的角度定位光学耦合到所述检查路径的镜,并且定位所述多个相机中的一者以光学耦合到所述镜。

11.如权利要求10所述的方法,进一步包括致动器,所述致动器被配置为当所述产品在所述检查路径上时触发所述多个相机同时捕获所述产品的所述多个图像。

12.如权利要求8所述的方法,包括提供片剂压制机和片剂除尘器中的一者以分配所述产品。

13.如权利要求8所述的方法,其中沿所述检查路径分配所述产品地步骤包括:沿所述产品的行进轨迹分配所述产品。

14.如权利要求8所述的方法,其中沿所述检查路径分配所述产品的步骤包括:将所述产品分配到对由所述多个相机中的至少一个相机所采用的光波长透明的材料的管。

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