[发明专利]带手持式探头的嗅探式气体泄漏检测器

说明书

一种气体泄漏检测仪，具有：手持式嗅探探头(30)，真空泵(36)，连接所述嗅探探头(30)和所述真空泵(36)的气体传导线路(44)，以及用于在泄漏检测期间直接并同时分析由所述嗅探探头(30)吸入的气流中的示踪气体成分的固态半导体气体传感器(46)。其中，所述气体传感器(46)连接到所述气体传导线路(44)，使得所述气体传导线路(44)的第一部分(54)从所述传感器(46)延伸到所述嗅探探头(30)并且所述气体传导线路(44)的第二部分(52)从所述气体传感器(46)延伸到真空泵(36)。其中，所述嗅探探头(30)包括形成进入所述气体传导线路(44)的吸入口的孔口。并且其中，所述气体传导线路(44)的所述第二部分(52)将所述气体传感器(46)连接到所述真空泵(36)的低压入口(42)，而所述真空泵(36)的出口(56)连接到大气。其特征在于：所述气体传感器(46)布置在所述真空泵(36)的位置，使得所述气体传导线路(44)的所述第一部分(54)的长度大于所述气体传导线路(44)的所述第二部分(52)的长度；并且所述气体传导线路(44)的所述第二部分(52)将所述气体传感器(46)连接到所述真空泵(36)的低压入口(42)，而所述真空泵(36)的出口(56)与大气连接。

本发明涉及一种带有手持式嗅探探头的气体泄漏检测器。

真空泵通过气体传导线路连接到嗅探探头，使得真空泵产生真空压力，导致气体流入嗅探探头的吸入口并通过气体传导线路进入真空泵。气体固态半导体传感器被布置成分析流过气体传导线路的气体，以便识别特定的气体成分。

根据现有技术，通常在远离真空泵的手持式嗅探探头内设置固态半导体传感器。手持式探头通常沿要分析是否存在可能的气体泄漏的表面移动。气体传感器可能对手持探头的这种移动很敏感，这可能会影响气体传感器产生的测量信号的正确性。对于金属氧化物类型的气体传感器，例如固态氢传感器，情况尤其如此。

在质谱气体泄漏检测器(例如INFICON XL3000flex)中，质谱气体检测单元通常包含在主要组件中，因为无法将大而重的质谱仪集成到手持式嗅探探头中。这同样适用于Wise Technology类型的气体泄漏检测器，例如INFICON Protec P3000XL。气体检测单元包括氦选择性渗透石英膜，并且相应的检测单元也包含在泄漏检测器的主单元中，因为不可能将大而重的气体检测单元包含在手持式嗅探探头中。采用固态半导体类型气体传感器的气体泄漏检测器与带有集成在手持式探头中的小型传感器的嗅探探头一起使用，以实现快速反应时间。

本发明的目的是提高具有手持式嗅探探头和固态半导体气体传感器的气体泄漏检测器的准确度。

本发明的主题由独立权利要求1定义。

因此，气体传感器设置在真空泵的位置处，靠近该真空泵并且远离手持式嗅探探头及其吸入口，使得手持式嗅探探头的移动不会导致气体传感器的运动。气体传感器在泄漏检测期间对通过吸入口吸入的气体进行分析。具体地，气体传感器对连续或周期性吸入的气流中的示踪气体成分进行直接分析。优选地，气体传感器分析整个气流中的示踪气体成分，而不是逐个分析气流中的分离成分(例如在气相色谱仪传感器的情况下，该传感器将待分析的气体分离成其单独的组分，对这些单独组分一个接一个地进行分析)。另一方面，本发明的气体传感器同时分析气流的示踪气体成分，即气体成分由传感器同时检测，而不是随后检测。

气体传感器布置在真空泵的低压入口侧，而不是真空泵的出口侧，出口侧通常处于大气压。在真空泵运行过程中，低压入口侧的压力低于真空泵出口的压力，即通常在低于大气压的压力下。气体传感器和手持式嗅探探头通过气体传导线路的第一部分连接，该气体传导线路的第一部分将嗅探探头的嗅探尖端处的嗅探探头吸入口与气体传感器的入口连接。该气体传导线路的第二部分将气体传感器的出口与真空泵的入口连接起来。气体传导线路的第一部分的长度大于第二部分的长度，从而实现气体传感器靠近真空泵的低压入口而远离嗅探探头设置。特别地，在手持式嗅探探头具有外壳的情况下，气体传感器不布置在嗅探探头的外壳内或者附接到嗅探探头的外壳。