[发明专利]压电元件

说明书

压电元件具备：层叠体，层叠内部电极及压电体层；以及表面电极，位于层叠体的侧面，与内部电极电连接。图3B所示的第二电极包括第一导体，该第一导体具有：带状部，沿着长度方向延伸；以及引出部，一端与带状部相连，另一端在层叠体的侧面露出并与表面电极连接。压电元件具备位于层叠体的侧面的与引出部的另一端露出的部分相反一侧的部分和引出部之间的第二导体。

技术领域

本公开涉及压电元件。

背景技术

现有技术的一例记载于专利文献1。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP专利第4249472号公报

发明内容

本公开的压电元件具备：

层叠体，层叠内部电极及压电体层；以及

表面电极，位于所述层叠体的侧面，与所述内部电极电连接，

所述内部电极包括：

第一电极，对所述压电体层施加电压，以使所述层叠体在与所述层叠体的长度方向正交的第一方向上弯曲；以及

第二电极，对所述压电体层施加电压，以使所述层叠体在与所述长度方向及所述第一方向正交的第二方向上弯曲，

所述第一电极及所述第二电极中的至少一方包括第一导体，所述第一导体具有：带状部，沿着所述长度方向延伸；以及引出部，一端与所述带状部相连，另一端在所述层叠体的所述侧面露出并与所述表面电极连接，

所述压电元件具备：第二导体，位于所述侧面的与所述引出部的所述另一端露出的部分相反一侧的部分和所述引出部之间。

附图说明

根据下述的详细说明和附图，本公开的目的、特色以及优点将变得更加清楚。

图1A是表示压电元件的外观的俯视图。

图1B是表示压电元件的外观的侧视图。

图2A是图1A的剖切线A-A处的剖视图。

图2B是图1A的剖切线B-B处的剖视图。

图2C是图1A的剖切线C-C处的剖视图。

图3A是表示内部电极的图案形状的图。

图3B是表示内部电极的图案形状的图。

图3C是表示内部电极的图案形状的图。

图3D是表示内部电极的图案形状的图。

图3E是表示内部电极的图案形状的图。

图3F是表示内部电极的图案形状的图。

图4是表示第二导体的其他形状的图。

具体实施方式

作为成为本公开的压电元件的基础的结构的压电元件，被用作层叠压电体层和内部电极而成且通过对内部电极施加电压来进行弯曲位移的压电致动器。压电致动器能够高精度地实现微小的位移。

专利文献1中记载的压电致动器具有沿着Z轴使长度伸长且在XY平面内能够移动的前端。

为了使压电致动器的前端能够在XY平面内移动，设置多个图案的内部电极，使它们分别在层叠体的侧面露出而与表面电极连接。各内部电极具有用于使其端部在侧面的给定位置露出的引出部分。专利文献1的图16所示的内部电极减小电极宽度，以使得通过引出部分不使压电体层伸缩。由此，在层叠体中，由于设置有内部电极的引出部分的区域的厚度与未设置的区域的厚度的不同而产生不均匀化，弯曲位移的精度降低。