[发明专利]对气泡形成具有减小易损性的振动传感器

权利要求书

1.一种用于确定和/或监测介质(M)的至少一个过程变量(P)的设备(1)，包括能够机械振动的单元(4)、驱动器/接收器单元(5)和电子单元(6)，

其中，所述驱动器/接收器单元(5)被设计成借助于电激励信号激励所述能够机械振动的单元(4)产生机械振动，并且接收所述能够机械振动的单元(4)的所述机械振动并将它们转化为电接收信号，

其中，所述电子单元(6)被设计成基于所述接收信号生成所述激励信号，设置所述激励信号的频率使得在所述激励信号和所述接收信号之间存在能够预定的相移，并且使用所述接收信号确定所述至少一个过程变量(P)，

其中，所述能够机械振动的单元(4)包括隔膜(7)，并且

其中，所述隔膜(7)的面向所述过程的表面(O)是弯曲的。

2.根据权利要求1所述的设备(1)，

其中，所述隔膜(7)的所述表面(O)至少部分是凸的。

3.根据权利要求1所述的设备(1)，

其中，所述隔膜(7)的所述表面(O)至少部分是凹的。

4.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

其中，所述表面(O)为圆锥形、截头圆锥形、半球形的或具有球截形的形状。

5.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

其中，所述表面(O)是圆形的，特别是在所述表面(O)的中心点的区域中。

6.根据权利要求1-4中的至少一项所述的设备，

其中，所述表面(O)具有尖端，特别是在所述表面(O)的中心点的区域中。

7.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

其中，所述表面(O)被设计成相对于所述表面(O)的中心点对称。

8.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

其中，至少一个振动元件(8a、8b)一体地形成在所述隔膜(7)上。

9.根据权利要求8所述的设备(1)，

其中，在所述隔膜和所述振动元件之间的过渡区域具有相应的能够预定的过渡半径。

10.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

其中，平行于穿过所述隔膜(7)的纵向轴线的平面与所述隔膜(7)的所述表面(O)的切线之间的角度小于或等于45°。

11.根据前述权利要求中的至少一项所述的设备(1)，

包括用作驱动器/接收器单元(5)的至少一个第一压电元件，

其中，所述设备(1)被设计为

借助于激励信号激励所述能够机械振动的单元(4)产生机械振动，

接收所述能够振动的单元(4)的所述机械振动并将它们转换为第一接收信号，

发射传输信号并且接收第二接收信号，以及

其中，所述电子单元(6)被设计成使用所述第一接收信号和/或所述第二接收信号确定所述介质(M)的所述至少一个过程变量(P)。

12.根据权利要求11所述的设备(1)，

还包括至少一个第二压电元件，

其中，所述第一压电元件和所述第二压电元件被设计成借助于激励信号激励所述能够机械振动的单元(4)以产生机械振动，并且接收所述能够振动的单元(4)的所述机械振动并将它们转换为第一接收信号，

其中，所述第一压电元件被设计成发射传输信号，并且

其中，所述第二压电元件被设计成以第二接收信号的形式接收所述传输信号。