[发明专利]干式真空泵及其制造方法

权利要求书

1.一种干式真空泵(1)，包括：

-定子(2)，所述定子(2)包括至少一个第一和至少一个第二互补半壳(7，8)，每个半壳(7，8)都包括至少一个半隔板(13a-13e)，所述半隔板(13a-13e)与另一半壳(8)的半隔板(14a-14e；14)接合在一起，以形成位于泵级(3a-3f)的两个连续泵室之间的分隔隔板，所述泵级(3a-3f)串联安装在所述真空泵(1)的抽吸口(4)和排出口(5)之间，

-两个转子轴(6)，所述两个转子轴(6)配置成在所述泵室中反向同步转动，

其特征在于，半壳(7，8)的至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e；14)通过组装而装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中。

2.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)通过可拆卸式组装装配在所述支架(15)中。

3.根据权利要求2所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)被固定到半室底部上，所述半室底部可拆卸地装配在所述半壳(7，8)的支架(15)中，所述半室底部和所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)制成在所述半壳(7，8)的可拆卸式插入件(23)中。

4.根据权利要求2和3中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半壳(7，8)包括：

-至少一个可拆卸的固定构件(24)，例如螺钉，用于将可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)固定到所述支架(15)上，和/或

-至少一个定位构件(25)，例如销或键，用于将可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)定位在所述支架(15)中。

5.根据权利要求4所述的真空泵(1)，其特征在于，所述半壳(7，8)包括承载所述至少一个半隔板(13d，13e，14d，14e)的至少一个插入件(23)，所述插入件(23)具有固定半凸缘(16)，所述至少一个固定构件(24)和/或所述至少一个定位构件(25)例如轴向地插入到所述固定半凸缘(16)中和所述支架(15)中和/或另一固定半凸缘(16)中。

6.根据权利要求5所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个固定构件(24)和/或所述至少一个定位构件(25)穿过可拆卸式半隔板(13d，13e，14d，14e)径向地插入到所述支架(15)中。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)包括至少一个级间通道(9e，10e，9d，10d)，所述级间通道构造成将前一个泵级(3a-3e)的出口(20)连接到后一个泵级(3b-3f)的入口(21)，级间半通道的至少一部分形成在所述半壳(7，8)的插入件(23)中，并在所述插入件(23)的侧面上开口，所述插入件(23)承载半隔板(13d，13e，14d，14e)并通过可拆卸式装配组装在所述支架(15)中。

8.根据权利要求7所述的真空泵(1)，其特征在于，所述至少一个级间半通道(9e，10e，9d，10d)在所述半隔板(13d，13e，14d，14e)侧形成在固定半凸缘(16)中，所述固定半凸缘(16)同样能够将所述插入件(23)固定到所述支架(15)上。

9.根据权利要求7和8中任一项所述的真空泵(1)，其特征在于，所述真空泵(1)包括部分形成在至少一个插入件(23)的侧面中的两个级间半通道(9e，10e，9d，10d)，所述级间半通道(9e，10e，9d，10d)位于所述半隔板(13d，13e，14d，14e)的两侧。

10.根据权利要求1所述的真空泵(1)，其特征在于，至少一个半隔板(14)通过压力装配组装在所述支架(15)中。