[发明专利]传感器及其制造方法

说明书

一种传感器，其具有向生物体内插入的探针并测量分析物，传感器的探针包括：基板；形成在基板上的电极；以及形成在电极上的试剂层，其中，在探针的宽度方向上的至少一个端部，沿着探针向生物体内插入的插入方向对试剂层及电极进行微调。

技术领域

本公开涉及传感器及其制造方法。

背景技术

作为使用了酶的电化学式生物传感器的代表例，可列举用于自测血糖的电化学式葡萄糖传感器。另外，已开发出了连续或半连续地测量生物体内的葡萄糖浓度的嵌入型电化学式葡萄糖传感器(例如，参照专利文献1)。

另外，在专利文献1中，例如，在比相对于电介质层1308向生物体进入的进入方向垂直的方向上的端部更靠内侧的部分，形成导电层1304和传感层1306(例如，参照图13A)。换句话说，导电层1304和传感层1306没有到达电介质层1308的端部。而且，在专利文献1中，将形成在比电介质层1308的端部更靠内侧的部分的导电层1304和传感层1306微调(trimming)成期望的形状。换句话说，在专利文献1中，在电介质层1308的端部，导电层1304和传感层1306不被微调(去除)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2012-519038号公报

发明内容

发明要解决的问题

需要抑制了由制造工序产生的性能偏差的传感器。

本公开的非限定性的实施例有助于提供抑制了由制造工序产生的性能偏差的传感器及其制造方法。

解决问题的方案

本公开的一个实施例的传感器是具有向生物体内插入的探针并测量分析物，所述探针包括：基板；电极，形成在所述基板上；以及试剂层，形成在所述电极上，在所述探针的宽度方向上的至少一个端部，沿着所述探针向所述生物体内插入的插入方向去除了所述试剂层及所述电极。

解决问题的方案

本公开的一个实施例的传感器的制造方法是具有向生物体内插入的探针并测量分析物的传感器的制造方法，该制造方法中通过以下工序来制造所述探针：在基板上形成电极的工序；在所述电极上形成试剂层的工序；以及在所述探针的宽度方向上的至少一个端部，沿着所述探针向所述生物体内插入的插入方向去除所述试剂层及所述电极的工序。

发明效果

根据本公开的一个实施例，能够抑制由制造工序产生的传感器的性能的偏差。

将由说明书及附图清楚呈现本公开的一个实施例中的进一步的优点及效果。上述优点和/或效果分别由若干个实施方式以及说明书及附图所记载的特征提供，但未必需要为了获得一个或一个以上的相同特征而全部提供。

附图说明

图1是表示本公开的传感器的应用例的图。

图2是传感器的剖视图。

图3是探针的平面图。

图4A是图3的AA线向视剖视图。

图4B是图3的BB线向视剖视图。

图4C是图3的CC线向视剖视图。

图5是用来说明试剂层与薄膜之间的位置关系的图。

图6是图5的DD线向视剖视图。

图7是探针的试剂层部分的立体图。

图8是探针的尖端部分的平面图。

图9是用来说明试剂层与薄膜之间的位置关系的图。