[发明专利]光源和用于操作光源的方法在审

专利信息
申请号: 202180021273.2 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN115297973A 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: M·赫罗德;A·斯塔尔 申请(专利权)人: 贺利氏特种光源有限公司
主分类号: B05D3/06 分类号: B05D3/06
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 骞敏;臧建明
地址: 德国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 光源 用于 操作 方法
【权利要求书】:

1.一种光源(1),包括:至少一个发光部件(11,13,15),特别是发射紫外光的部件和/或半导体部件;以及管路系统(103),冷却流体可以沿流动方向(F)流过所述管路系统,以用于控制所述至少一个发光部件的温度,

其特征在于第一冷却流体压力传感器和第二冷却流体压力传感器(21,22),所述第一冷却流体压力传感器和所述第二冷却流体压力传感器沿所述流动方向(F)一个接一个地布置在所述管路系统(103)中;以及电子单元(3),所述电子单元连接到所述第一冷却流体压力传感器和所述第二冷却流体压力传感器(21,22)并且被配置为基于由所述第一冷却流体压力传感器(21)和由所述第二冷却流体压力传感器(22)捕获的压力(p1,p2)来确定至少一个诊断、控制和/或调节值。

2.根据权利要求1所述的光源,其特征在于,所述冷却流体管路系统(103)包括具有冷却流体入口开口(121)和冷却流体返回开口(122)的分配器块(10),其中所述分配器块包括第一腔(501)和另外的腔(502),其中所述第一腔(501)和所述另外的腔(502)借助于至少一个流体路径(409)彼此流体连接;其中所述第一冷却流体压力传感器(21)布置在所述第一腔(501)中,并且所述第二冷却流体压力传感器(22)布置在第二腔(502)中,其中特别地,所述第一冷却流体压力传感器(21)布置在所述冷却流体入口开口(121)处,并且/或者所述第二冷却流体压力传感器(22)布置在所述冷却流体返回开口(122)处,并且/或者

其中特别地,所述第一压力传感器(21)布置在所述分配器块(10)的与所述冷却流体入口开口(121)相对的端部(101)处,并且/或者所述第二压力传感器(22)布置在所述分配器块(10)的与所述冷却流体返回开口(122)相对的端部(101)处。

3.根据权利要求1或2所述的光源(1),其特征在于,所述第一冷却流体压力传感器(21)和/或所述第二冷却流体压力传感器(22)捕获所述冷却流体的压力测量值并向所述电子单元(3)提供对应的电压力测量信号,

其中特别地,所述对应的压力测量信号被实现为优选成比例的电流或电压信号。

4.根据前述权利要求中任一项所述的光源(1),其特征在于,所述电子单元(3)具有流量控制和/或调节装置(5),所述流量控制和/或调节装置被配置为限定所述冷却流体沿所述流动方向(F)通过所述管路系统(103)的流量(f)。

5.根据权利要求4所述的光源,其特征在于,所述流量控制和/或调节装置(5)具有泵(51),所述泵具有用于通过所述管路系统(103)输送所述冷却流体的递送速率,其中所述流量控制和/或调节装置(5)被配置为考虑所述发光部件(11,13,15)的期望温度控制来调整所述泵(51)的所述递送速率,以获得最低期望冷却流体流量,其中特别地,所述流量控制和/或调节装置(5)被配置为根据所述电子单元的诊断、控制和/或调节值来调整所述最低期望冷却流体流量。

6.根据前述权利要求中任一项所述的光源(1),其特征在于,所述电子单元(3)包括用于调整所述至少一个发光部件(11,13,15)的光输出的至少一个电力电子单元(7),其中特别地,所述电子单元(3)被配置为基于所述光输出来确定所述至少一个诊断、控制和/或调节值,并且/或者其中所述流量控制和/或调节装置被配置为基于所述光输出来限定所述冷却流体通过所述管路系统(103)的所述流量(f)。

7.一种用于操作光源(1)特别地是根据权利要求1至6中任一项所述的光源的方法,所述光源包括至少一个发光部件(11,13,15),其中所述至少一个发光部件(11,13,15)的所述温度借助于冷却流体来控制,其中所述冷却流体通过管路系统(103)输送,其特征在于,

-在所述管路系统(103)中的第一点处,捕获所述冷却流体的第一压力(p1),

-在所述管路系统(103)中的第二点处,捕获所述冷却流体的第二压力(p2),以及

-基于所述第一压力(p1)和所述第二压力(p2)来确定诊断、控制和/或调节值。

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