[发明专利]感光化射线性或感放射线性树脂组合物、感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法

权利要求书

1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其含有：

树脂(A)：通过酸的作用而极性增加；及

化合物(B)；通过光化射线或放射线的照射而产生酸，且由下述通式(I)表示，

所述树脂(A)包含由下述通式(AI)表示的重复单元，

通式(AI)中，

R_A、R_B及R_C分别独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤原子、氰基或烷氧基羰基，其中，R_C任选地与Ar_A键合而形成环，此时的R_C表示单键或亚烷基，

L_A表示单键或2价的连接基，

Ar_A表示(n+1)价的芳香环基，当Ar_A与R_C键合而形成环时，表示(n+2)价的芳香环基，

n表示1～5的整数，

通式(I)中，

M₁⁺及M₂⁺分别独立地表示阳离子，

X表示单键或(m+1)价的连接基，

A₁^-及A₂^-分别独立地表示阴离子性基团，A₁^-表示与由A₂^-表示的酸阴离子基团不同的结构，

m表示1或2，当m表示2时，多个M₁⁺相同或不同，当m表示2时，多个A₁^-相同或不同，

其中，由通式(I)表示的化合物的M₁⁺及M₂⁺分别被氢原子取代的化合物(PI)具有由HA₁表示的基团的酸解离常数a1及由A₂H表示的基团的酸解离常数a2，酸解离常数a1低于酸解离常数a2，酸解离常数a1为-1.5以上。

2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，

所述通式(I)中，A₁^-及A₂^-分别独立地为选自由下述通式(B-1)～(B-27)表示的基团中的基团，

通式(B-1)中，

Y^F1表示氟原子或全氟烷基，

Y¹表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-2)中，

Y²分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-3)中，

Y^F2表示氟原子或全氟烷基，

Y³表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Ra表示有机基团，

通式(B-4)中，

Y⁴分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Ra₁表示有机基团，

通式(B-5)中，

Y^F3表示氟原子或全氟烷基，

Y⁵表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rb表示氢原子或有机基团，

通式(B-6)中，

Y⁶分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rb₁表示氢原子或有机基团，

通式(B-7)中，

Y^F4表示氟原子或全氟烷基，

Y⁷表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rc表示有机基团，

通式(B-8)中，

Y⁸分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rc₁表示有机基团，

通式(B-9)中，

Y^F5表示氟原子或全氟烷基，

Y⁹表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rd表示有机基团，

通式(B-10)中，

Y¹⁰分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rd₁表示有机基团，

通式(B-12)中，

Re表示氢原子、有机基团或卤原子，

o表示1～4的整数，

当o表示2以上的整数时，多个Re相同或不同，

通式(B-13)中，

Y^F6表示氟原子或全氟烷基，

Y¹¹表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-14)中，

Y¹²分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-15)中，

Y^F7表示氟原子或全氟烷基，

Y¹³表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rf表示有机基团，

通式(B-16)中，

Y¹⁴分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rf₁表示有机基团，

通式(B-17)中，

Y^F8表示氟原子或全氟烷基，

Y¹⁵表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rg表示有机基团，

Rh表示有机基团，

通式(B-18)中，

Y¹⁶分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Rg₁表示有机基团，

Rh₁表示有机基团，

通式(B-19)中，

Y^F9表示氟原子或全氟烷基，

Y¹⁷表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-20)中，

Y¹⁸分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

通式(B-21)中，

Y^F10表示氟原子或全氟烷基，

Y¹⁹表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Ri表示有机基团，

Rj表示有机基团，

通式(B-22)中，

Y²⁰分别独立地表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

Ri₁表示有机基团，

Rj₁表示有机基团，

通式(B-23)中，

Rk表示氢原子或不具有氟原子的取代基，

p表示1～4的整数，

当p表示2以上的整数时，多个Rk相同或不同，

通式(B-24)中，

R1表示氢原子、有机基团或卤原子，

q表示1～4的整数，

当q表示2以上的整数时，多个R1相同或不同，

Rc₂表示有机基团，

通式(B-25)中，

Y^F11分别独立地表示氟原子或全氟烷基，

Rc₃表示有机基团，

通式(B-26)中，

Y^F12分别独立地表示氟原子或全氟烷基，

Rd₂表示有机基团，

通式(B-27)中，

Y^F13分别独立地表示氟原子或全氟烷基，

通式(B-1)～(B-27)中，

*表示键合位置。