[发明专利]蒸镀掩模用框架、带框架蒸镀掩模以及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202180025079.1 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN115349032A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 若林雅;野本将史 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H05B33/10;H01L51/50 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 谢辰 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模用 框架 蒸镀掩模 以及 方法 | ||
1.一种蒸镀掩模用框架，具备构成为保持蒸镀掩模的框架主体，
所述框架主体是基材以及强化材料均由无机固体材料构成的复合材料。
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，还具备至少一个固定在所述框架主体的金属材料的台座，
所述框架主体构成为经由所述至少一个台座来保持蒸镀掩模。
3.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述复合材料是碳纤维强化碳复合材料。
4.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述复合材料是金属基复合材料。
5.如权利要求2所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述框架主体具有矩形状，
所述至少一个台座包括第一台座以及第二台座，
所述第一台座固定在所述框架主体中的所述矩形状的第一边，
所述第二台座固定在所述框架主体中的与所述第一边对置的第二边。
6.如权利要求5所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述至少一个台座还包括第三台座以及第四台座，
所述第三台座与所述第一台座分离地固定在所述框架主体的所述第一边，
所述第四台座与所述第二台座分离地固定在所述框架主体的所述第二边。
7.如权利要求1所述的蒸镀掩模用框架，其中，所述框架主体包括第一框架材料和第二框架材料，
所述蒸镀掩模用框架还具备将所述第一框架材料和所述第二框架材料之间结合的结合部，
所述结合部具有比所述第一框架材料以及所述第二框架材料大的弯曲弹性模量。
8.一种带框架蒸镀掩模，其具备：如权利要求1至7中任一项所述的蒸镀掩模用框架；
蒸镀掩模，其与所述蒸镀掩模用框架接合，具有与蒸镀图案对应的开口部。
9.一种蒸镀方法，具备使用如权利要求8所述的带框架蒸镀掩模在被蒸镀基板上形成所述蒸镀图案的步骤。
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