[发明专利]磁控等离子体成膜装置

权利要求书

1.一种磁控等离子体成膜装置，其特征在于，

该磁控等离子体成膜装置具备：

成膜辊；和

磁控等离子体单元，其与所述成膜辊相对配置，

所述磁控等离子体单元具备：

旋转靶，其轴线在与所述成膜辊的轴线相同的方向上延伸；和

磁体单元，其配置于所述旋转靶的径向内侧，

所述磁体单元具备：

第1磁极部；和

第2磁极部，其在与第1方向正交的第2方向上与所述第1磁极部相邻，该第1方向沿着连结所述成膜辊的轴线和所述旋转靶的轴线的线段，

所述第1磁极部和所述第2磁极部各自在所述第2方向上依次具有第1区域、第2区域、以及第3区域，

所述第1区域、所述第2区域、所述第3区域各自具有将磁化方向分解为所述第1方向和所述第2方向而得到的第1分量和第2分量中的至少一个，

在所述第1区域中，所述第1分量比所述第2分量大，

在所述第2区域中，所述第1分量比所述第2分量小，

在所述第3区域中，所述第1分量比所述第2分量大，与所述第1区域中的所述第1分量反向。

2.根据权利要求1所述的磁控等离子体成膜装置，其特征在于，

所述第1区域和所述第3区域各自主要具有所述第1分量，

所述第2区域主要具有所述第2分量。

3.根据权利要求1所述的磁控等离子体成膜装置，其特征在于，

所述第1区域与所述第2区域连续，

所述第2区域与所述第3区域连续，

在所述第1区域中，所述第1分量随着朝向所述第2区域而变小，

在所述第3区域中，所述第1分量随着朝向所述第2区域而变小。