[发明专利]脉冲喷射式流量调整装置、调整方法、以及程序

权利要求书

1.一种脉冲喷射式流量调整装置，其特征在于，包括：

第一截止阀，连接气体源；

第二截止阀，连接所述第一截止阀；

气体填充容器，位于所述第一截止阀与所述第二截止阀之间；以及

压力传感器，测量所述气体填充容器的压力；

所述调整装置进行多次将气体控制至目标流量的过程；

所述第一截止阀、所述第二截止阀以及所述压力传感器，可通信地连接控制所述脉冲喷射式流量调整装置的动作的控制器；

所述控制器在各过程中执行：

流量控制处理，基于在使所述第一截止阀进行开关动作之后、重复使所述第二截止阀进行开关动作的脉冲喷射的同时、使所述第一截止阀进行开关动作、在填充气体至所述气体填充容器后、使用所述压力传感器测量出的填充后压力，以及在使所述第二截止阀进行开关动作、从所述气体填充容器喷出气体之后、使用所述压力传感器测量出的喷出后压力，通过一方面算出所述气体填充容器喷出的气体的体积流量，一方面改变重复进行所述脉冲喷射的方式，将所述体积流量调整至目标流量；

此外，所述控制器：

执行最佳填充时间存储处理，在所述流量控制处理中，当进行已将所述流量调整至目标流量的脉冲喷射时，使所述第一截止阀进行开关动作，将已填充气体到所述气体填充容器中的填充时间作为最佳填充时间而存储；以及

执行填充时间控制处理，在已执行所述最佳填充时间存储处理的过程的下一个进行的过程的所述流量控制处理中，在进行最初的脉冲喷射的情况下，使用已存储于所述佳填充时间存储处理中的所述最佳填充时间而使所述第一截止阀进行开关动作。

2.根据权利要求1所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，在所述最佳填充时间存储处理中，将最后的脉冲喷射的所述填充时间作为所述最佳填充时间而存储。

3.根据权利要求1或2所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，所述控制器执行气体置换处理，通过同时使所述第一截止阀和所述第二截止阀进行开启动作置换残留在所述气体填充容器中的气体。

4.根据权利要求3所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，所述控制器执行压力调整处理，在所述气体置换处理之后，以将所述气体填充容器的压力调整至在执行所述流量控制处理的情况下的所述气体填充容器的目标压力的方式，使正在开启动作的所述第一截止阀与所述截止阀进行关闭动作。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的脉冲喷射式流量调整装置，其中，

所述控制器：

执行学习处理，在进行所述第二截止阀的开关动作而从所述气体填充容器喷出所述气体的喷出时间一定的状态下，使所述第一截止阀进行开关动作而填充所述气体至所述气体填充容器的所述填充时间为可变、重复进行脉冲喷射的同时，算出每个从所述第二截止阀被喷出的气体的体积流量的所述填充时间，学习所述填充时间与所述体积流量的关系；

在所述流量控制处理中，执行修正处理，在所述目标流量从前一个的过程使用的目标流量被改变的情况下，或者在所述目标流量在所述流量控制处理的执行途中被改变的情况下，基于在所述学习处理中已学习的所述填充时间与所述体积流量的关系，根据目标流量与改变后的目标流量之差修正所述最佳填充时间。