[发明专利]一种包含碳材料、金属有机化合物和溶剂的旋涂组合物以及一种在基材上方制造金属氧化物膜的方法在审
申请号: | 202180028289.6 | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN115427890A | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 关藤高志;赵俊衍 | 申请(专利权)人: | 默克专利有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/09 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人: | 刘卓然 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 包含 材料 金属 有机化合物 溶剂 组合 以及 基材 上方 制造 氧化物 方法 | ||
1.一种旋涂组合物,其包含碳材料(A)、金属有机化合物(B)和溶剂(C),其中
(i)碳材料(A)包含由式(A1)表示的单元(A1):
其中:
Ar11是未取代或取代有R11的C6-60烃,
R11是C1-20直链、支链或环状的烷基、氨基或烷基氨基,
R12是I、Br或CN,
p11为0~5的整数,p12为0~1的整数,q11为0~5的整数,q12为0~1的整数,r11为0~5的整数,s11为0~5的整数,并且
条件是p11、q11和r11不同时取0;
(ii)溶剂(C)包含有机溶剂;并且
(iii)碳材料(A)与金属有机化合物(B)质量的质量比为约5至约100质量%,优选为约10至约75质量%,更优选为约10至约50质量%。
2.根据权利要求1所述的旋涂组合物,其中该式(A1)为以下中的一种或多种:
(i)式(A1-1):
其中
Ar21是C6-50芳烃环,
R21、R22和R23各自独立地是C6-50芳烃环、氢或与另一个单元键合的单键,
R24和R25各自独立地是C1-4烷基,可选地,多个R24和/或R25可以相互结合以与相邻的苯形成芳环,
n21为0~1的整数,n24和n25各自独立地为0~3的整数,并且
R12是I、Br或CN,
p11为0~5的整数,p12为0~1的整数,q11为0~5的整数,q12为0~1的整数,r11为0~5的整数,s11为0~5的整数,并且
条件是p11、q11和r11不同时取0;
(ii)式(A1-2):
其中
L31和L32各自独立地是单键或亚苯基,
n31、n32、m31和m32各自独立地为0~6的整数,
R12是I、Br或CN,
p11为0~5的整数,p12为0~1的整数,q11为0~5的整数,q12为0~1的整数,r11为0~5的整数,s11为0~5的整数,并且
条件是p11、q11和r11不同时取0;和
(iii)式(A1-3):
其中:
Ar41是C6-50芳烃,
R41和R42各自独立地是C1-10烷基,可选地,R41和R42构成环状烃,
*41位的碳原子是季碳原子,
L41是C6-50亚芳基,或与另一个单元键合的单键,
R12是I、Br或CN,
p11为0~5的整数,p12为0~1的整数,q11为0~5的整数,q12为0~1的整数,r11为0~5的整数,s11为0~5的整数,并且
条件是p11、q11和r11不同时取0;并且
其中,当碳材料(A)为聚合物时,除了在聚合物的末端位置以外,该聚合物不由或基本上不由仲碳原子和叔碳原子组成。
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