[发明专利]惯性检测电路、惯性传感器和惯性检测方法

权利要求书

1.一种惯性检测电路，包括：

信号生成器，被配置为生成要向检测器输出的信号，所述检测器被配置为将惯性力转换为电信号；以及

处理单元，被配置为对从所述检测器输出的电信号进行处理，

所述检测器包括：

固定电极；以及

移动电极，被设置为面对所述固定电极，所述移动电极能够在所述移动电极和所述固定电极彼此面对的面对方向上相对于所述固定电极移动，

所述信号生成器包括：

驱动电压生成器，被配置为向所述固定电极施加具有第一频率的驱动电压以使所述移动电极振动；以及

测试电压生成器，被配置为向所述固定电极施加具有低于所述第一频率的第二频率的测试电压以使所述移动电极振动，

所述处理单元包括：

检测处理器，被配置为执行检测处理，所述检测处理基于从所述移动电极输出的电信号中的与施加到所述移动电极的惯性力的分量相对应的检测信号来检测所述固定电极和所述移动电极之间的电容；以及

诊断处理器，被配置为执行诊断处理，所述诊断处理基于从所述移动电极输出的电信号中的与所述第二频率的分量相对应的诊断信号来诊断所述检测器的异常。

2.根据权利要求1所述的惯性检测电路，其中，

所述处理单元被配置为基于所述诊断信号来校正所述诊断信号或所述检测信号中的至少一个的偏移。

3.根据权利要求1或2所述的惯性检测电路，其中，

所述信号生成器被配置为基于所述诊断信号来校正所述测试电压或所述驱动电压中的至少一个的偏移。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的惯性检测电路，其中，

所述处理单元被配置为基于所述诊断信号来校正所述诊断信号或所述检测信号中的至少一个的大小。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的惯性检测电路，其中，

所述信号生成器被配置为基于所述诊断信号来校正所述测试电压或所述驱动电压中的至少一个的幅度。

6.一种惯性传感器，包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的惯性检测电路；以及

检测器。

7.根据权利要求6所述的惯性传感器，其中，

所述检测器被配置为向处理单元输出移动电极的输出信号和固定电极的输出信号之间的差分信号。

8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其中，

所述检测器包括：

第一CV转换电路和第二CV转换电路，所述第一CV转换电路和所述第二CV转换电路中的每一个包括与所述固定电极或所述移动电极电连接的输入端子、以及取决于所述固定电极和所述移动电极之间的电容输出电压的输出端子；

差分放大器，被配置为向所述处理单元输出从所述第一CV转换电路的输出端子输出的电压和从所述第二CV转换电路的输出端子输出的电压之间的差分电压；

电容器，包括与所述固定电极电连接的第一电极、以及被设置为面对所述第一电极的第二电极；以及

开关单元，被配置为在以下状态之间进行切换：

第一状态，在所述第一状态下，使所述第二电极电连接到所述第一CV转换电路的输入端子，并且使所述移动电极电连接到所述第二CV转换电路的输入端子；以及

第二状态，在所述第二状态下，使所述第二电极电连接到所述第二CV转换电路的输入端子，并且使所述移动电极电连接到所述第一CV转换电路的输入端子。

9.一种惯性检测方法，包括：

信号生成步骤，包括生成要向检测器输出的信号，所述检测器被配置为将惯性力转换为电信号；以及

处理步骤，包括对从所述检测器输出的电信号进行处理，

所述检测器包括：

固定电极；以及

移动电极，被设置为面对所述固定电极，所述移动电极能够在所述移动电极和所述固定电极彼此面对的面对方向上相对于所述固定电极移动，

所述信号生成步骤包括：

驱动电压生成步骤，包括向所述固定电极施加具有第一频率的驱动电压以使所述移动电极振动；以及

测试电压生成步骤，包括向所述固定电极施加具有低于所述第一频率的第二频率的测试电压以使所述移动电极振动，

所述处理步骤包括：

检测处理，包括基于从所述移动电极输出的电信号中的与施加到所述移动电极的惯性力的分量相对应的检测信号来检测所述固定电极和所述移动电极之间的电容；以及

诊断处理，包括基于从所述移动电极输出的电信号中的与所述第二频率的分量相对应的诊断信号来诊断所述检测器的异常。