[发明专利]光扫描装置、对象物识别装置以及光扫描方法

权利要求书

1.一种光扫描装置，其中，

具有：

波长扫描光生成部，生成波长连续地变化的基准光以及测量光；

空间相位调制元件，具有反射所述测量光的多个光栅构件，通过使所述光栅构件位移来对所述测量光执行相位调制；

投影光学系统，通过将由所述空间相位调制元件执行相位调制后的所述测量光成形为直线状，将直线状地延伸的所述测量光投影至对象物；以及

受光部，具有直线状地排列的多个光电检测器，将被所述对象物反射的所述测量光引导至多个所述光电检测器，

所述受光部将与所述基准光重叠的所述测量光引导至多个所述光电检测器，

多个所述光电检测器检测重叠的所述基准光以及所述测量光，

所述空间相位调制元件通过控制多个所述光栅构件彼此的位移，对所述对象物扫描所述测量光。

2.如权利要求1所述的光扫描装置，其中，

所述投影光学系统通过一边使所述测量光在延设方向上扩展一边在从所述延设方向观察时对所述测量光进行准直，将沿所述延设方向直线状地延伸的所述测量光投影至所述对象物。

3.如权利要求1或2所述的光扫描装置，其中，

所述受光部具有分别与多个所述光电检测器相对应且直线状地排列的多个透镜，

被所述对象物反射的所述测量光入射至多个所述透镜，

所述透镜将入射而来的所述测量光引导至相对应的所述光电检测器。

4.如权利要求3所述的光扫描装置，其中，

所述受光部还具有分别与多个所述光电检测器相对应且直线状地排列的多个光合成器，

所述光合成器使所述基准光重叠于透过与同一个所述光电检测器对应的所述透镜的所述测量光后，将所述测量光以及所述基准光引导至相对应的所述光电检测器。

5.如权利要求1至4中任一项所述的光扫描装置，其中，

所述光扫描装置还具有设置于所述波长扫描光生成部与所述空间相位调制元件之间的照射光学系统，

多个所述光栅构件在排列方向上排列，

所述光栅构件具有沿与所述排列方向正交的长度方向延伸的形状，

所述照射光学系统使所述测量光在所述长度方向上会聚到所述空间相位调制元件，并且在从所述长度方向观察时使所述测量光准直到所述空间相位调制元件。

6.一种对象物识别装置，其中，

具有：

权利要求1至5中任一项所述的光扫描装置；以及

控制部，基于所述光扫描装置所具有的多个光电检测器的检测结果来计算与对象物之间的位置关系。

7.一种光扫描方法，其中，

具有：

生成波长连续地变化的基准光以及测量光的工序；

通过使具有反射所述测量光的多个光栅构件的空间相位调制元件的所述光栅构件位移，来对所述测量光执行相位调制的工序；

通过将执行相位调制后的所述测量光成形为直线状，将直线状地延伸的所述测量光投影至对象物的工序；

使被所述对象物反射的所述测量光与所述基准光重叠的工序；以及

通过直线状地排列的多个光电检测器检测重叠的所述测量光和所述基准光的工序，

通过控制所述空间相位调制元件的多个所述光栅构件彼此的位移，对所述对象物扫描所述测量光。