[发明专利]使用增强偏转器操纵带电粒子束的装置

权利要求书

1.一种装置，包括：

第一带电粒子束操纵器，被定位在第一层处、并且被配置为影响带电粒子束；以及

第二带电粒子束操纵器，被定位在第二层处、并且被配置为影响所述带电粒子束，其中所述第一带电粒子束操纵器和所述第二带电粒子束操纵器各自包括：

多个电极，具有第一组相对电极和第二组相对电极；

第一驱动器系统，电连接到所述第一组相对电极、并且被配置为向所述第一组相对电极提供多个第一离散输出状态；以及

第二驱动器系统，电连接到所述第二组相对电极、并且被配置为向所述第二组相对电极提供多个第二离散输出状态。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器系统被配置为启用所述第一组相对电极，以使所述带电粒子束在第一方向上偏转。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述第二驱动器系统被配置为启用所述第二组相对电极，以使所述带电粒子束在垂直于所述第一方向的第二方向上偏转。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器系统被配置为向所述第一组相对电极提供离散输出状态，以使所述带电粒子束在第一方向上偏转。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述第二驱动器系统被配置为向所述第二组相对电极提供离散输出状态，以使所述带电粒子束在基本垂直于所述第一方向的第二方向上偏转。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一带电粒子束操纵器被配置为使所述带电粒子束以第一角度偏转，并且所述第二带电粒子束操纵器被配置为使所述带电粒子束以第二角度偏转。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器系统和所述第二驱动器系统中的每个驱动器系统包括开关，所述开关用于提供所述多个第一离散输出状态和所述多个第二离散输出状态。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器系统和所述第二驱动器系统中的每个驱动器系统包括多个电源，所述多个电源中的每个电源提供离散输出状态。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一驱动器系统包括被配置为提供所述多个第一离散输出状态的第一电源，并且所述第二驱动器系统包括被配置为提供所述多个第二离散输出状态的第二电源。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一带电粒子束操纵器和所述第二带电粒子束操纵器具有相等尺寸。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一带电粒子束操纵器具有尺寸N，并且所述第二带电粒子束操纵器具有尺寸M，其中M是N的整数倍。

12.根据权利要求11所述的装置，其中N定义所述第一带电粒子束操纵器的长度，并且M定义所述第二带电粒子束操纵器的长度。

13.根据权利要求1所述的装置，还包括：

第三带电粒子束操纵器，被配置为影响所述带电粒子束，所述第三带电粒子束操纵器包括：

多个电极；

驱动器系统，电连接到所述多个电极、并且被配置为向所述多个电极提供连续输出状态。

14.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层包括多个带电粒子束操纵器。

15.一种用于影响穿过偏转扫描单元的带电粒子束的方法，所述方法包括：

通过第一驱动器系统，向所述偏转扫描单元的第一操纵器的第一组相对电极提供第一组离散输出状态；以及

通过第二驱动器系统，向所述偏转扫描单元的所述第一操纵器的第二组相对电极提供第二组离散输出状态。