[发明专利]聚酰亚胺前体组合物和聚酰亚胺膜/基材层积体

说明书

提供一种能够制造翘曲小的聚酰亚胺膜/基材层积体、并且稳定性优异的聚酰亚胺前体组合物。聚酰亚胺前体组合物含有：聚酰亚胺前体；含苯基的直链状硅氧烷化合物，相对于上述聚酰亚胺前体的聚酰亚胺换算质量100质量份，其量超过0.5质量份且小于30质量份，折射率为1.54以上；和溶剂。

技术领域

本发明涉及适合用于例如柔性器件的基板等电子器件用途的聚酰亚胺前体组合物和降低了翘曲的聚酰亚胺膜/基材层积体。除此以外，涉及使用上述组合物的柔性电子器件的制造方法。

背景技术

聚酰亚胺膜由于耐热性、耐化学药品性、机械强度、电学特性、尺寸稳定性等优异而广泛地用于电气/电子器件领域、半导体领域等领域中。另一方面，近年来，伴随着高度信息化社会的到来，正在推进光通信领域的光纤及光波导等、显示装置领域的液晶取向膜及滤色器用保护膜等光学材料的开发。特别是，在显示装置领域中，作为玻璃基板的替代物，正在积极地进行轻量且柔性优异的塑料基板的研究、以及能够弯曲或卷起的显示器的开发。

在液晶显示器或有机EL显示器等显示器中，形成用于驱动各像素的TFT等半导体元件。因此，对于基板而言要求耐热性及尺寸稳定性。聚酰亚胺膜由于耐热性、耐化学药品性、机械强度、电学特性、尺寸稳定性等优异而有望作为显示器用途的基板。

聚酰亚胺通常着色为黄褐色，因此在具备背光源的液晶显示器等透过型器件中的使用受限，但是，近年来，已开发出除了机械特性、热特性以外透明性也优异的聚酰亚胺膜，其作为显示器用途的基板的期望进一步提高(参见专利文献1～3)。

通常，柔性的膜难以维持平面性，因此难以在柔性的膜上均匀且精度良好地形成TFT等半导体元件、微细布线等。例如，专利文献4中记载了“一种作为显示器件或光接受器件的柔性器件的制造方法，其包括下述各工序：将特定的前体树脂组合物涂布到载体基板上并成膜，形成固体状的聚酰亚胺树脂膜的工序；在上述树脂膜上形成电路的工序；将表面形成有上述电路的固体状的树脂膜从上述载体基板剥离的工序”。

另外，在专利文献5中，作为制造柔性器件的方法，公开了下述方法，其包括：在玻璃基板上形成聚酰亚胺膜而得到的聚酰亚胺膜/玻璃基材层积体上形成器件所需要的元件和电路后，从玻璃基板侧照射激光，将玻璃基板剥离。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/011590号公报

专利文献2：国际公开第2013/179727号公报

专利文献3：国际公开第2014/038715号公报

专利文献4：日本特开2010-202729号公报

专利文献5：国际公开第2018/221607号公报

专利文献6：国际公开第2014/098235号公报

专利文献7：日本特开2019-203117号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在将专利文献4、5的方法用于实际制造的情况下，有时聚酰亚胺膜/玻璃基材层积体会产生翘曲，难以精度良好地形成元件，或者处理性降低。特别是在使用大型玻璃基板的情况下，作为具体例，例如在适用于大型的柔性电子器件(例如，大型显示装置)或由一个基板制造多个柔性电子器件(例如，显示装置)的所谓多倒角方法的情况下，翘曲有时会扩大到无法忽视的程度。

专利文献6公开了下述内容：通过与2,2-双(三氟甲基)联苯胺一起使用硅酮二胺作为二胺成分，利用骨架中导入有硅酮结构(聚硅氧烷结构)的聚酰亚胺前体，能够降低无机膜或支撑基板与聚酰亚胺膜之间的残余应力。但是，聚酰亚胺的结构受到限定，因此缺乏通用性，有时得不到目标物性。另外，还被指出反应性基团部分容易脱气、加热时的脱气量增多的问题(专利文献7的0008)。