[发明专利]分析装置、分析装置用程序及分析方法在审

专利信息
申请号: 202180036191.5 申请日: 2021-05-25
公开(公告)号: CN115667884A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 涩谷享司 申请(专利权)人: 株式会社堀场制作所
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 李成必;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 分析 装置 程序 方法
【权利要求书】:

1.一种分析装置,其特征在于,

所述分析装置对试样中包含的测量对象成分进行分析,

所述分析装置具备:

光源,对所述试样照射参照光;

光检测器,检测所述参照光透过所述试样后的试样光的强度;

参数确定部,确定表示由于所述试样中包含的共存成分或者所述参照光的波长偏移而产生的所述测量对象成分或者干扰成分的光吸收光谱的变化的参数;以及

浓度计算部,根据与所述试样光的强度关联的强度关联信号,计算使用表示所述光吸收光谱的变化的参数进行修正后的所述测量对象成分的浓度。

2.根据权利要求1所述的分析装置,其特征在于,

表示所述光吸收光谱的变化的参数是表示由于所述试样中包含的共存成分而产生的所述测量对象成分或者干扰成分的光吸收光谱的变化率的展宽因子、或者所述参照光的波长偏移量。

3.根据权利要求2所述的分析装置,其特征在于,

所述浓度计算部使用与所述试样光的强度关联的强度关联信号、以及所述展宽因子或者所述波长偏移量,计算将所述共存成分引起的共存影响或者所述参照光的波长偏移修正后的所述测量对象成分的浓度。

4.根据权利要求2或3所述的分析装置,其特征在于,

所述参数确定部对和展宽因子或者压力为已知的测量对象成分以及干扰成分的光吸收信号关联的参考数据、和根据所述试样光的强度求出的光吸收信号关联的试样数据进行拟合,确定展宽因子。

5.根据权利要求2或3所述的分析装置,其特征在于,

所述参数确定部使用表示所述共存成分的浓度与展宽因子的关系的关系数据、测量到的所述共存成分的浓度,确定展宽因子。

6.根据权利要求2或3所述的分析装置,其特征在于,

所述参数确定部对和波长偏移量为已知的测量对象成分以及干扰成分的光吸收信号关联的参考数据、和根据所述试样光的强度求出的光吸收信号关联的试样数据进行拟合,确定波长偏移量。

7.根据权利要求2或3所述的分析装置,其特征在于,

所述参数确定部使用表示周围温度与波长偏移量的关系的关系数据、以及测量到的周围温度,确定所述参照光的波长偏移量。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的分析装置,其特征在于,

所述分析装置还具备相关值计算部,所述相关值计算部计算和所述试样光的强度关联的强度关联信号与规定的特征信号的相关值,

所述浓度计算部使用所述相关值以及表示所述测量对象成分或者干扰成分的光吸收光谱的变化的参数,计算将所述共存成分引起的共存影响或者所述参照光的波长偏移修正后的所述测量对象成分的浓度。

9.根据权利要求8所述的分析装置,其特征在于,

所述分析装置对包含一个或者多个应该除去干扰影响的干扰成分的试样中的测量对象成分进行分析,

所述相关值计算部使用将所述测量对象成分的种类数与所述干扰成分的种类数相加得到的个数以上的个数的特征信号,计算多个相关值,

所述浓度计算部使用所述多个相关值以及表示所述测量对象成分或者干扰成分的光吸收光谱的变化的参数,计算所述测量对象成分的浓度。

10.根据权利要求9所述的分析装置,其特征在于,

所述分析装置还具备存储部,所述存储部存储单独相关值,所述单独相关值是根据所述测量对象成分以及各干扰成分单独存在时的各自的所述强度关联信号以及多个所述特征信号求出的所述测量对象成分以及各干扰成分各自的每单位浓度的相关值,

所述浓度计算部使用通过所述相关值计算部得到的多个相关值、所述多个单独相关值、以及表示所述测量对象成分或者干扰成分的光吸收光谱的变化的参数,计算所述测量对象成分的浓度。

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