[发明专利]自测信号和线性加速度信号的实时隔离

权利要求书

1.一种微机电MEMS加速度计，包括：

第一检验质块；

第二检验质块；

一个或多个第一电极，所述一个或多个第一电极被定位成与所述第一检验质块相邻以感测所述第一检验质块的响应于沿第一轴的线性加速度而沿第一轴的移动；

一个或多个第二电极，所述一个或多个第二电极被定位成与所述第二检验质块相邻以感测所述第二检验质块的沿第一轴的移动，其中所述第一检验质块和所述第二检验质块响应于沿第一轴的所述线性加速度而沿第一轴同相移动；

自测驱动电路系统，所述自测驱动电路系统耦合到所述第一检验质块和所述第二检验质块，其中所述自测驱动电路系统被配置为使所述第一检验质块和所述第二检验质块沿第一轴异相移动；和

处理电路系统，所述处理电路系统耦合到所述一个或多个第一电极和所述一个或多个第二电极，其中所述处理电路系统被配置为接收感测信号并从所述感测信号中提取与检验质块的异相移动对应的自测信号和与检验质块的同相移动对应的线性加速度信号。

2.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，其中，所述一个或多个第一电极中的正电极和所述一个或多个第二电极中的正电极沿第一轴在第一方向上定位，以及所述一个或多个第一电极中的负电极和所述一个或多个第二电极中的负电极沿第一轴在与第一方向相反的方向上定位。

3.根据权利要求2所述的MEMS加速度计，其中所述第一检验质块和所述第二检验质块的同相移动包括朝向所有正电极或所有负电极的同时移动，以及其中所述第一检验质块和所述第二检验质块的异相移动包括检验质块中的一个检验质块朝向对应的正电极、而检验质块中的另一个检验质块朝向其相关联的负电极的同时移动。

4.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，还包括：

至少一个第一自测驱动电极，所述至少一个第一自测驱动电极被定位成与所述第一检验质块相邻；和

至少一个第二自测驱动电极，所述至少一个第二自测驱动电极被定位成与所述第二检验质块相邻，其中为了使所述第一检验质块和所述第二检验质块异相移动，自测驱动电路系统向所述至少一个第一自测驱动电极提供具有一极性的第一自测驱动信号，以及向所述至少一个第二自测驱动电极提供具有相反极性的第二自测驱动信号。

5.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，其中所述第一检验质块和所述第二检验质块位于MEMS层的平面内，以及其中第一轴在所述MEMS层的平面内。

6.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，其中所述第一检验质块和所述第二检验质块位于MEMS层的平面内，以及其中第一轴垂直于所述MEMS层的平面。

7.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，还包括驱动电路系统，所述驱动电路系统耦合到所述第一检验质块和所述第二检验质块以向所述第一检验质块提供第一周期性驱动信号和向所述第二检验质块提供第二周期性驱动信号。

8.根据权利要求7所述的MEMS加速度计，其中，第一周期性驱动信号和第二周期性驱动信号具有相同的频率和具有相反的极性。

9.根据权利要求8所述的MEMS加速度计，其中，第一周期性驱动信号和第二周期性驱动信号具有相同的极性和相同的频率，以便提取自测信号。

10.根据权利要求8所述的MEMS加速度计，其中，第一周期性驱动信号和第二周期性驱动信号是同相的，以及第二周期性驱动信号的频率是第一周期性驱动信号的频率的倍数。

11.根据权利要求1所述的MEMS加速度计，其中所述处理电路系统包括被配置为提取自测信号的第一电容至电压C2V转换器和被配置为提取线性加速度信号的第二C2V转换器。

12.根据权利要求11所述的MEMS加速度计，其中，第一C2V转换器包括差分放大器，以及第二C2V转换器包括共模放大器。