[发明专利]固态成像元件及其制造方法

说明书

固态成像元件具备：基板；排列在基板上的多个光电转换元件；排列在多个光电转换元件的上方、使入射到多个光电转换元件的光透过的滤光片部；配置在滤光片部的上方的多个透镜；以从外侧包围滤光片部的平面视图的外缘的方式配置的树脂层；以及形成在多个透镜和树脂层上的防反射膜。防反射膜具有覆盖树脂层的平面视图的外周部的外周膜，外周膜具有在树脂层的厚度方向上具有凹凸的凹凸形状，外缘的至少一部分比树脂层更突出在外侧。

技术领域

本发明涉及固态成像元件及其制造方法。

本申请要求关于2020年12月10日在日本提出的特愿2020-204965号的优先权，其内容援引在此。

背景技术

固态成像元件在基板上依次层叠有多个光电转换元件、滤光片、以及透镜。各光电转换元件、滤光片、以及透镜形成成像像素，排列在固态成像元件的中心部。

为了提高成像灵敏度，大多在各透镜的表面形成防反射膜。防反射膜例如是由二氧化硅等无机材料构成的薄膜，由于在由热膨胀率更大的树脂材料形成的透镜上成膜，因此容易产生裂纹。

在专利文献1中提出了以下技术：在固态成像元件中，在与光接收有效区域邻接的周边区域，使用与微透镜相同的材料以包围光接收有效区域的方式设置多个凸状体，从而形成均匀地覆盖微透镜和凸状体的表面的防反射膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-12518号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，上述那样的现有技术存在以下这样的问题。

专利文献1中记载的技术是防止在光接收有效区域的外缘部的微透镜上的防反射膜上产生裂纹的技术。

但是，固态成像元件在比上述周边区域更靠外侧的大范围内具有不具备光电转换元件的外周区域。由于在外周区域的基板上形成与光电转换元件连接的布线，因此在外周区域的基板上形成平坦的遮光层，以使从外部入射的光不发生反射。

在遮光层的上部层叠有与微透镜相同材料的树脂层，防反射膜也覆盖该树脂层。

为了使固态成像元件的划线(scribe line)和电极垫露出，在形成防反射膜后，通过蚀刻除去外周区域中的树脂层的一部分。由此，外周区域的外缘部的形状齐整。

在该蚀刻工序中，树脂层的侧面被侵蚀，因此在蚀刻后防反射膜的一部分成为树脂层的外缘突出的状态。突出的防反射膜例如在清洗工序等后续工序中破裂或剥落，从而可能成为固态成像元件的不良的原因。

为了防止这样的防反射膜的破损，考虑在防反射膜的外缘及其外侧形成树脂的被覆层之后进行蚀刻工序。在这种情况下，伴随着蚀刻的进行的树脂层的侵蚀发生在比防反射膜的外缘更靠外侧的被覆层的下侧，因此可以防止防反射膜的下侧的树脂层的侵蚀。

但是，根据该制造方法，需要形成被覆层的工序，因此存在制造时间长、制造成本增大之类的问题。

本发明是鉴于上述那样的问题而完成的，目的在于提供能够防止防反射膜外缘的剥落的固态成像元件。

此外，本发明的目的还在于提供能够有效地制造可以防止防反射膜外缘的剥落的固态成像元件的固态成像元件制造方法。

用于解决课题的方案