[发明专利]基于失效率的过程窗口

权利要求书

1.一种具有指令的非暂时性计算机可读介质，所述指令在由计算机执行时使所述计算机执行用于确定图案化过程的过程窗口的方法，所述方法包括：

获得被印制于衬底上的多个特征的测量数据；以及

基于与一特征组相关联的所述测量数据来产生所述特征组的基础失效率模型，所述特征组中的特征是不同的，其中，所述基础失效率模型被配置成根据所述特征组的失效率识别过程窗口。

2.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括基于指标将所述多个特征分组为包括所述组的多个组。

3.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，所述指标包括：(a)所述特征中的每个特征的过程窗口，其中，所述过程窗口是与相应特征相关联的过程变量的函数；和(b)与所述相应特征相关联的特性参数。

4.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，所述过程变量包括与用于所述图案化过程的设备相关联的焦距值和剂量值，并且其中，所述特性参数包括所述相应特征的临界尺寸(CD)值。

5.根据权利要求2所述的计算机可读介质，其中，将所述特征分组包括：

对于所述特征中的每个特征，获得所述相应特征的平均CD值以及位于所述相应特征的过程窗口的边缘处的与所述平均CD相关联的多个剂量值和焦距值以作为指标值，以及

基于所述特征的所述指标值将所述特征聚类至所述特征组中，其中，特定组内的特征具有位于第一阈值内的指标值。

6.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，获得所述多个特征的所述测量数据包括：

获得具有被印制于所述衬底上的所述特征的图像，以及

分析所述图像以选择满足指定准则的特征作为所述多个特征。

7.根据权利要求6所述的计算机可读介质，其中，所述指定准则包括特征在所述衬底上的出现次数低于第一阈值，或所述特征在所述图像中的一图像中的出现次数低于第二阈值。

8.根据权利要求1所述的计算机可读介质，其中，产生用于所述特征组的所述基础失效率模型包括：

获得所述特征组的平均CD；

将所述特征组的局部CD均一性(LCDU)数据确定为与所述特征组相关联的所述测量数据；

基于所述LCDU数据来获得：(i)所述特征组的CD的概率密度函数，所述概率密度函数被定义为所述平均CD、所述图案化过程的剂量值、以及所述图案化过程的剂量值的方差的函数；和(ii)所述图案化过程的基于所述特征组中的特征的失效率测量结果的CD极限；

基于所述CD极限和所述CD的所述概率密度函数来确定所述特征组的估计失效率；以及

产生所述基础失效率模型，所述基础失效率模型识别与所述剂量值相关的所述过程窗口，使得所述特征组的估计失效率小于预定阈值。

9.根据权利要求1所述的计算机可读介质，还包括：

使用所述基础失效率模型和所述特定特征的特性数据产生用于特定特征的特定于特征的失效率模型，其中，所述特定于特征的失效率模型识别特定于特征的过程窗口，使得所述特定特征的估计失效率低于指定阈值。

10.根据权利要求9所述的计算机可读介质，其中，产生所述特定于特征的失效率模型包括：

接收与所述特定特征相关联的测量数据，其中，所述测量数据包括所述特定特征的针对多个剂量值和焦距值的CD值；

从所述测量数据确定指定指标值，其中，所述指定指标值被确定为指定平均CD值以及位于与所述特定特征相关联的过程窗口的边缘处的与所述指定平均CD值相关联的多个剂量值和焦距值的函数；以及

从数据库选择指定基础失效率模型，所述指定基础失效率模型的指标值匹配所述指定指标值。