[发明专利]压力传感器元件、压力传感器模块及其信号校正方法

权利要求书

1.一种压力传感器元件，对电极间的静电电容的变化进行探测，所述压力传感器元件具备：

基底电极部；

传感电极部，其与该基底电极部一起构成传感电容器，能够与周围压力差相应地变形；

间隔部，其维持所述基底电极部与所述传感电极部之间的间隙；以及

监视电极部，其与所述基底电极部一起构成监视电容器，对在该间隔部产生的应力应变进行探测。

2.根据权利要求1所述的压力传感器元件，其中，

所述传感电极部包括具有矩形形状或长圆形状的平面形状的传感电极，

所述监视电极部包括分别配置在相对于所述传感电极的左右外侧及上下外侧的第一监视电极、第二监视电极、第三监视电极以及第四监视电极。

3.根据权利要求1所述的压力传感器元件，其中，

所述传感电极部具有矩形形状或长圆形状的平面形状，

所述监视电极部包括分别配置在相对于所述传感电极的左右外侧或上下外侧的第一监视电极和第二监视电极。

4.根据权利要求1所述的压力传感器元件，其中，

所述监视电容器中包括的监视间隙与所述传感电容器中包括的传感间隙从流体的角度来看是隔离的。

5.一种压力传感器模块，具备根据权利要求1～4中的任一项所述的压力传感器元件以及对来自该压力传感器元件的输出信号进行处理的集成电路，其中，

该集成电路包括：

开关电路，其对所述传感电极部的传感信号和所述监视电极部的监视信号进行切换；

A/D转换器，其将来自该开关电路的输出信号变换为数字信号；

数字信号处理部，其对该数字信号进行信号处理；以及

存储器或寄存器，所述存储器或寄存器用于保存所述监视信号的数字值。

6.一种压力传感器模块的信号校正方法，是根据权利要求5所述的压力传感器模块的信号校正方法，包括以下步骤：

在将所述压力传感器模块安装到电路基板之前，测定所述监视电容器的静电电容并将其作为初始电容值保存到存储器或寄存器；

在将所述压力传感器模块安装到电路基板之后，测定所述监视电容器的静电电容并将其作为安装电容值保存到存储器或寄存器；

基于所述初始电容值和所述安装电容值来计算应变校正系数；以及

测定所述传感电容器的静电电容，并将该静电电容使用所述应变校正系数进行校正之后换算为压力值。