[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其中，具备：

第一平板；

框体，配置于比所述第一平板的外周端靠外侧；

连结部件，将所述第一平板和所述框体连结；

第一开口，被所述第一平板、所述框体以及所述连结部件包围；

第二平板，在与所述第一平板对置的部分具有第二开口；

侧壁部件，将所述框体与所述第二平板连接，并与所述第一平板和所述第二平板一起形成泵室；

驱动体，设置于所述第一平板或所述第二平板的任一方；以及

阀部件，设置于所述第一平板的所述泵室侧的第一面，对流体进行整流，

所述阀部件具有：

固定部，固定于所述第一平板；和

突出部，在俯视观察所述阀部件时，外端从所述外周端向外方侧突出，

所述突出部具有：

第一部分，具有第一厚度；和

第二部分，位于所述第一部分与所述固定部之间且具有第二厚度，

所述第二厚度比所述第一厚度厚，

所述第二部分的至少一部分在正面观察第一平板的第一面时与所述第一开口重叠。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其中，

所述第二部分与所述第一部分的连接部位于比所述外周端靠外侧。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其中，

所述连结部件具备：

第一连结部，与所述第一平板的所述外周端连接，从所述第一平板的外周端向外方侧延伸；和

第二连结部，与所述第一连结部连接，并且在与所述第一连结部和所述第一平板的连接部位不同的部位连接于所述框体，

所述第一连结部在俯视观察所述阀部件时与所述第一部分重叠的部分具有从配置所述阀部件的一侧凹陷的凹部。

4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其中，

所述阀部件的所述外端的形状是沿着所述第二连结部延伸的形状。

5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其中，

所述第一连结部具有：

与所述阀部件的所述第二部分重叠的部分；和

与所述阀部件的所述第一部分重叠的部分，

与所述第一部分重叠的部分的宽度比与所述第二部分重叠的部分的宽度大。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的流体控制装置，其中，

所述阀部件的所述外端的形状与所述第一平板的所述外周端的形状为相似形。

7.一种流体控制装置，其中，具备：

第一平板；

框体，配置于比所述第一平板的外周端靠外侧；

连结部件，将所述第一平板和所述框体连结；

第一开口，被所述第一平板、所述框体以及所述连结部件包围；

第二平板，在与所述第一平板对置的部分具有第二开口；

侧壁部件，将所述框体与所述第二平板连接，并与所述第一平板和所述第二平板一起形成泵室；

驱动体，设置于所述第一平板或所述第二平板的任一方；以及

阀部件，设置于所述第二平板的所述泵室侧的主面，对流体进行整流，

所述阀部件的一部分固定于所述第二平板，从所述第一平板的主面与所述第二平板的主面对置的对置方向观察时，所述阀部件的内端不固定于所述第二平板而以与所述第二开口重叠的方式突出，

所述阀部件具有构成所述内端侧的部分的第一厚度的第一部分、和构成所述第一部分的外端侧的第二厚度的第二部分，

所述第二厚度比所述第一厚度厚，

所述第二部分在俯视观察第二平板时与所述第二开口的壁重叠。

8.根据权利要求7所述的流体控制装置，其中，

所述阀部件的所述内端的形状与俯视观察所述第二开口的壁时的形状为相似形。