[发明专利]永久性粘结和图案化材料

权利要求书

1.一种形成微电子结构的方法，所述方法包括：

提供具有背表面和前表面的基材，所述基材任选地包括在所述前表面上的一个或多个中间层；

向所述前表面施加组合物，或者若所述一个或多个中间层存在，向所述一个或多个中间层施加组合物，以形成粘结层，所述组合物包含分散或溶解在溶剂体系中的双马来酰亚胺；以及

进行(A)、(B)或(C)中的至少一项：

(A)使裸片或包括至少一个裸片的晶片附着至所述粘结层；

(B)在所述粘结层上形成光刻胶层；

在所述光刻胶层中形成图案；以及

使所述图案转移至所述粘结层以形成图案化粘结层；或

(C)使粘结层暴露于激光能量以去除至少部分粘结层。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述双马来酰亚胺包含选自如下的部分：(I)和(II)，(II)和(III)，(I)和(III)，或(I)、(II)和(III)

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述双马来酰亚胺包含1至约15个所述部分。

4.如权利要求1或3所述的方法，其中，所述组合物还包含选自如下的化合物：共聚单体、交联剂、引发剂、表面活性剂、润湿剂、粘合促进剂、染料、颜料、共聚物以及它们的混合物。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述组合物包含选自如下的共聚单体：三(乙二醇)二乙烯醚、1,4-丁二醇二乙烯醚、1,4-环己烷二甲醇二乙烯醚、二(乙二醇)二乙烯醚、聚乙二醇二乙烯醚、己二酸二乙烯酯、乙烯基醚交联剂、1H-吡咯-2,5-二酮、1,1'-C36-亚烷基双-、以及它们的混合物。

6.如权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述组合物基本由如下组成：

所述双马来酰亚胺；

引发剂、共聚单体和/或粘合促进剂中的至少一种；以及

所述溶剂体系。

7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其中，所述进行包括进行(B)，并且还包括：

将裸片置于所述图案化粘结层上或置于所述图案化粘结层中；或者

将包含至少一个裸片的晶片置于所述图案化粘结层中。

8.一种微电子结构，其包括：

具有表面的微电子基材；

在所述基材表面上的任选的一个或多个中间层，如存在一个或多个中间层，则在所述基材表面上有最上方中间层；

粘结层，如存在一个或多个中间层，该粘结层在所述最上方中间层上，或如果不存在中间层，粘结层在所述基材表面上，其中，所述粘结层包含双马来酰亚胺或交联的双马来酰亚胺中的至少一种；以及

如下物质中的至少一种：

(A)在所述粘结层上或所述粘结层中的裸片；

(B)在所述粘结层上的包含至少一个裸片的晶片；

(C)在所述粘结层上的图案化光刻胶层；或者

(D)在所述粘结层上的载体晶片。

9.如权利要求8所述的结构，其中，所述双马来酰亚胺包含选自如下的部分：(I)和(II)，(II)和(III)，(I)和(III)，或(I)、(II)和(III)

10.如权利要求9所述的结构，其中，所述双马来酰亚胺包含1至约15个所述部分。

11.如权利要求8至10中任一项所述的结构，其中，所述粘结层还包含共聚单体、交联剂或共聚物中的至少一种。

12.如权利要求11所述的结构，其中，所述粘结层包含选自如下的共聚单体：三(乙二醇)二乙烯醚、1,4-丁二醇二乙烯醚、1,4-环己烷二甲醇二乙烯醚、二(乙二醇)二乙烯醚、聚乙二醇二乙烯醚、己二酸二乙烯酯、乙烯基醚交联剂、1H-吡咯-2,5-二酮、1,1’-C36-亚烷基双-、以及它们的混合物。