[发明专利]着色感光性树脂组合物、固化物、显示装置及固化物的制造方法

说明书

本发明的目的在于，提供能够兼顾残膜率、开口部残渣及黑色度的特性来形成图案的着色感光性树脂组合物。本发明为含有(A)碱溶性树脂、(B)光产酸剂、(C)着色剂的着色感光性树脂组合物，其中，该(C)着色剂含有(C1)包含酸性染料和碱性染料的成盐化合物。

技术领域

本发明涉及着色感光性树脂组合物及使用其的固化物、显示装置及固化物的制造方法。更详细而言，涉及适合于半导体元件的表面保护膜、层间绝缘膜、有机电致发光(Electroluminescence：以下记为EL)元件的像素分割层、使用了有机EL元件的显示装置的驱动用薄膜晶体管(Thin Film Transistor：以下记为TFT)基板的平坦化膜、电路基板的布线保护绝缘膜、固体摄像元件的片上微透镜(on-chip microlens)、各种显示器/固体摄像元件用平坦化膜、及电路基板用阻焊剂等的、固化物及用于形成其的着色感光性树脂组合物。

背景技术

使包含聚酰亚胺、聚苯并噁唑的组合物固化而得的固化物被广泛用于半导体元件、显示装置的绝缘膜、保护膜及平坦化膜等。其中，在用于显示装置时，例如在有机EL显示器的像素分割层、液晶显示器的黑矩阵等用途中，要求降低固化物的透光率以提高对比度。另外，为了防止因光进入到显示装置的驱动用TFT而导致的劣化、误动作、漏电流等，对于有机EL显示器的像素分割层、设置于有机EL显示器的TFT基板上的平坦化膜等，也要求降低透过率。

作为使固化物在400nm以上的可见光区域的透光率降低的技术，可举出如在液晶显示器用黑矩阵材料、RGB糊剂材料中所见到的那样，在树脂组合物中添加炭黑、有机/无机颜料、染料等着色剂的方法。

对于正型感光性树脂组合物而言，作为降低固化物的透光率的技术，例如有：在Novolac树脂及/或包含乙烯基聚合物的碱溶性树脂中添加醌二叠氮化合物和黑色颜料的方法(参见专利文献1)；在可溶性聚酰亚胺中添加感光剂、黑色颜料的方法(参见专利文献2)；在碱溶性树脂中添加醌二叠氮化合物、可溶于碱性显影液及有机溶剂这两者的色素的方法(参见专利文献3)；向感光性树脂中添加黑色的油溶性染料的方法(参见专利文献4)；以及向碱溶性耐热性树脂中添加经酯化的醌二叠氮化合物和选自染料、无机颜料、有机颜料的至少一种着色剂的方法(参见专利文献5)；等等。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平6-230215号公报

专利文献2：日本特开2003-119381号公报

专利文献3：日本特开平7-261015号公报

专利文献4：日本特开平10-254129号公报

专利文献5：日本特开2004-145320号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，上述技术中，存在进行图案加工时，残膜率、开口部残渣及黑色度中的任一特性不足的课题。

用于解决课题的手段

本发明为一种着色感光性树脂组合物，其为含有(A)碱溶性树脂、(B)光产酸剂、(C)着色剂的着色感光性树脂组合物，其中，该(C)着色剂含有(C1)包含酸性染料和碱性染料的成盐化合物。

发明的效果

根据本发明，能够兼顾残膜率、开口部残渣及黑色度的特性来进行图案加工。

附图说明

[图1]为使用于有机EL显示装置的基板的示意图。

具体实施方式