[发明专利]用于产生宽带辐射的方法以及相关联的宽带源和量测装置

权利要求书

1.一种通过激励中空芯部光子晶体光纤内的工作介质来产生宽带输出辐射的方法，所述方法包括：

产生包括脉冲的输入辐射，所述脉冲具有在50fs至400fs的范围内的持续时间且具有小于60fs的上升时间；和

利用所述输入辐射激励所述工作介质。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述上升时间小于40fs。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述上升时间小于20fs。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，每个脉冲的下降边缘近似于高斯函数或对数正态函数的下降边缘。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，通过产生利用平方函数信号截断的洛伦兹光谱来获得所述脉冲。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中，所述脉冲中的每个脉冲包括平顶脉冲。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，每个脉冲的所述持续时间在50fs至150fs的范围内。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述脉冲的重复率在6MHz与15MHz之间。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，所述脉冲的重复率在8MHz与12MHz之间。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述输出辐射包括小于400nm的波长。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述输出辐射包括小于350nm的波长。

12.一种用于产生宽带输出辐射的宽带辐射源，包括：

输入辐射源，所述输入辐射源能够操作以产生包括脉冲的输入辐射，所述脉冲具有在50fs至400fs的范围内的持续时间且具有小于60fs的上升时间；和

中空芯部光子晶体光纤，所述中空芯部光子晶体光纤包括工作介质和光学输入部，所述光学输入部用于接收所述输入辐射以便激励所述工作介质以产生所述宽带输出辐射。

13.根据权利要求12所述的宽带辐射源，其中，所述输入辐射源能够操作以产生具有近似于高斯函数或对数正态函数的下降边缘的下降边缘的脉冲。

14.一种量测装置，包括根据权利要求12所述的宽带辐射源，其中，所述辐射源被配置成产生用于投影至衬底上的辐射。

15.根据权利要求14所述的量测装置，其中，所述量测装置是散射仪、对准传感器或调平传感器中的一种。