[发明专利]压电器件

说明书

压电器件具备：电子元件，内置有压电元件、安装板和温度传感器；基体，经由安装板来安装压电元件并且安装电子元件；和盖体，通过与基体接合来至少将压电元件以及安装板密闭密封。

技术领域

本公开涉及具备压电元件以及电子元件的压电器件。

背景技术

具备压电元件以及电子元件的压电器件正在普及。压电元件根据其频率温度特性，伴随温度变化而振荡频率发生变化。电子元件内置温度传感器，基于通过温度传感器而得到的温度信息，控制压电元件的动作，以使得即使温度变化，振荡频率也一定。作为这种压电器件，例如已知温度补偿型水晶振荡器(以下称作TCXO(Temperature CompensatedCrystal Oscillator)(例如参考日本特开2014-187641号公报)。TCXO具备作为压电元件的水晶振动元件和作为电子元件的IC(Integrated Circuit，集成电路)。

发明内容

本公开所涉及的压电器件具备：电子元件，内置有压电元件、安装板和温度传感器；基体，经由所述安装板来安装所述压电元件并且安装所述电子元件；和盖体，通过与所述基体接合来至少将所述压电元件以及所述安装板密闭密封。

附图说明

图1是表示实施方式1的压电器件的分解立体图。

图2是表示实施方式1的压电器件中的压电元件以及安装板的分解立体图。

图3是表示实施方式1的压电器件的俯视图。

图4是图3中的IV-IV线截面图。

图5是表示比较例的压电器件的分解立体图。

图6是表示比较例的压电器件中压电元件的周围温度从T1变化为T2的情况下的电子元件以及压电元件的温度变化的一例的图表。

图7是表示使比较例的压电器件的周围温度变化的情况下的频率变化的一例的图表。

图8是表示使实施方式1的压电器件的周围温度变化的情况下的频率变化的一例的图表。

图9是表示实施方式2的压电器件的截面图。

图10是表示实施方式3的压电器件的截面图。

图11是表示一般的压电器件的制造方法的第一例的工序图。

图12是表示一般的压电器件的制造方法的第二例的工序图。

图13是表示实施方式1～3的压电器件的制造方法的工序图。

具体实施方式

在一般的压电器件中，由基体和盖体形成密闭空间。在该密闭空间内，压电元件以及电子元件以安装于基体的状态而被收容。在将压电元件安装到基体时，需要用于导电性粘接剂的硬化、特性稳定化的退火等高温处理。因此，如图11所示那样，若先在基体安装电子元件(S11)，接着在基体安装压电元件(S12、S13)，则在压电元件安装时对电子元件实施不需要的高温处理，担心给电子元件的电特性带来影响。若反过来，如图12所示那样，先在基体安装压电元件(S21、S22)，接着在基体安装电子元件(S23)，则担心由于在电子元件安装时尘土附着于压电元件等，导致给压电元件的电特性带来影响。即，有时由于压电元件以及电子元件向基体的安装顺序而损害压电器件的电特性。

压电器件周围的温度变化经由基体等传递到压电元件以及电子元件。电子元件每隔一定时间检测变化的温度，基于该温度信息来控制压电元件的动作。但由于压电元件的温度不一定与电子元件的温度一致，因此有时会损害压电器件的频率稳定性。

因此，本公开的第一目的在于，提供一种能够通过消除压电元件以及电子元件向基体的安装顺序所导致的问题来提升电特性的压电器件。本公开的第二目的在于，提供一种能够通过消除压电元件与电子元件的温度差所导致的问题来提升频率稳定性的压电器件。