[发明专利]光反射装置、传感器装置以及照明装置

权利要求书

1.一种光反射装置，其特征在于，具备：

光反射部件，其具有能够反射光的镜面；

臂部件，其与所述光反射部件接合；

促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；

用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数小。

2.一种光反射装置，其特征在于，具备：

光反射部件，其具有能够反射光的镜面；

支承部件，其与所述光反射部件接合；

臂部件，其与所述支承部件接合；

促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；

用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述支承部件的材料的热膨胀系数和用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数中的至少一方小。

3.一种光反射装置，其特征在于，具备：

光反射部件，其具有能够反射光的镜面；

臂部件，其与所述光反射部件接合；

促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；

所述光反射部件具有距所述镜面的距离变长的厚壁部，

所述臂部件与所述厚壁部接合。

4.如权利要求3所述的光反射装置，其特征在于，

用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数小。

5.一种光反射装置，其特征在于，具备：

光反射部件，其具有能够反射光的镜面；

支承部件，其与所述光反射部件接合；

臂部件，其与所述支承部件接合；

促动器，其通过使所述臂部件向与所述镜面交叉的方向位移来变更所述镜面相对于所述光的角度；

在所述光反射部件和所述支承部件中的至少一方，形成有与所述镜面交叉的方向的尺寸变大的凸部，

所述光反射部件与所述支承部件的接合在所述凸部处进行。

6.如权利要求5所述的光反射装置，其特征在于，

在所述支承部件，形成有距所述镜面的距离变长的厚壁部，

所述支承部件与所述臂部件的接合在所述厚壁部处进行。

7.如权利要求5或6所述的光反射装置，其特征在于，

用于形成所述光反射部件的材料的热膨胀系数比用于形成所述支承部件的材料的热膨胀系数和用于形成所述臂部件的材料的热膨胀系数中的至少一方小。

8.如权利要求1至7中任一项所述的光反射装置，其特征在于，

所述促动器包括压电元件。

9.如权利要求8所述的光反射装置，其特征在于，

所述臂部件包括所述压电元件。

10.如权利要求1至9中任一项所述的光反射装置，其特征在于，

具备树脂模制部，所述树脂模制部划分出空间，所述空间允许所述光反射部件和所述臂部件的位移，并且被气密地密封。

11.如权利要求10所述的光反射装置，其特征在于，

在所述空间填充有惰性气体。

12.如权利要求1至11中任一项所述的光反射装置，其特征在于，

所述镜面构成为能够反射激光。

13.一种传感器装置，其特征在于，具备：

如权利要求1至12中任一项所述的光反射装置；

发光元件，其射出不可见光；

受光元件，其输出与入射的不可见光的强度对应的光检测信号；

所述光反射装置的所述镜面将从所述发光元件射出的不可见光朝向检测区域反射，并且将被位于该检测区域内的物体反射的不可见光朝向所述受光元件反射。