[发明专利]弹性波装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电层，其包括铌酸锂及钽酸锂中的一方，并且具有第一主面及第二主面；以及

第一电极及第二电极，其设置于所述压电层的所述第一主面，

所述第一电极及所述第二电极是相邻的电极彼此，

在将所述压电层的所述第一电极与所述第二电极之间的区域的中央的厚度设为t_p1、将所述第一电极与所述第二电极的中心间距离设为p的情况下，t_p1/p为0.5以下，

在将所述压电层中的设置有所述第一电极的区域的厚度设为t_p2时，t_p1t_p2。

2.一种弹性波装置，具备：

压电层，其包括铌酸锂及钽酸锂中的一方，并且具有第一主面及第二主面；

第一电极及第二电极，其设置于所述压电层的所述第一主面；以及

电介质膜，其设置于所述压电层的所述第一主面中的未设置所述第一电极及第二电极的区域，并且在所述第一电极及第二电极的长度方向上延伸，

所述第一电极及所述第二电极是相邻的电极彼此，

在将所述压电层的所述第一电极与所述第二电极之间的区域的中央的厚度设为t_p1、将所述第一电极与所述第二电极的中心间距离设为p的情况下，t_p1/p为0.5以下，

在将所述压电层中的设置有所述第一电极及所述电介质膜中的至少一方的区域的厚度设为t_p3时，t_p1＞t_p3。

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述压电层的所述第一主面设置有一个以上的凹部，

所述第一电极设置于所述一个以上的凹部中的任意的凹部。

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

在所述压电层的所述第二主面设置有一个以上的凹部，

所述第一电极设置于在俯视下与所述一个以上的凹部中的任意的凹部重叠的区域。

5.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

在所述压电层的所述第一主面设置有一个以上的凹部，

所述第一电极及所述电介质膜中的至少一方设置于所述一个以上的凹部中的任意的凹部。

6.根据权利要求2所述的弹性波装置，其中，

所述电介质膜、所述第一电极及所述第二电极被周期性地设置。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的弹性波装置，其中，

所述第一电极具有基准电位或信号电位中的任意一方。

8.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

在将所述压电层的密度设为ρ_p、将所述第一电极的密度设为ρ_m、将所述第一电极的厚度设为t_m、将在所述压电层传播的横波体波的声速设为v_ps、将在所述第一电极传播的横波体波的声速设为v_ms的情况下，下述式(1)成立，

[数式1]

9.根据权利要求3、4或8所述的弹性波装置，其中，

在将从所述压电层的所述第一主面到所述凹部的底面为止的沿着厚度方向的尺寸设为t_g的情况下，t_g≤0.5t_p1。

10.根据权利要求3至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

设置有多个所述凹部，

所述第二电极设置于与设置有所述第一电极的所述凹部不同的所述凹部。