[发明专利]低碱玻璃板的制备方法和低碱玻璃板

说明书

本发明提供应变点高、而且泡品质优异的低碱玻璃板及其制造方法。一种低碱玻璃板的制造方法，其特征在于，包含：批料制备工序，以成为如下的低碱玻璃的方式制备原料批料，所述低碱玻璃中，作为玻璃组成，以质量％计含有：SiOsubgt;2/subgt; 50～70％、Alsubgt;2/subgt;Osubgt;3/subgt; 15～25％、Bsubgt;2/subgt;Osubgt;3/subgt;2～7.5％、MgO 0～10％、CaO 0～10％、SrO 0～10％、BaO 0～15％、ZnO0～5％、ZrOsubgt;2/subgt; 0～1％、TiOsubgt;2/subgt; 0～5％、Psubgt;2/subgt;Osubgt;5/subgt; 0～10％、SnOsubgt;2/subgt; 0.1～0.5％；熔融工序，对制备成的原料批料进行熔融；澄清工序，对熔融后的玻璃进行澄清；以及成形工序，将澄清后的玻璃成形为板状，所述低碱玻璃板的制造方法中，在将Bsubgt;2/subgt;Osubgt;3/subgt;的含量设为x(质量％)、将所得到的低碱玻璃板的β‑OH值设为y(/mm)时，以y＝ax+b、0.01＜a＜0.04以及0.03＜b＜0.06的关系式成立的方式调整Bsubgt;2/subgt;Osubgt;3/subgt;的含量和β‑OH值。

技术领域

本发明涉及一种低碱玻璃板，详细而言，涉及适合于具备具有IGZO(IndiumGallium Zinc Oxide，铟镓锌氧化物)等氧化物膜的薄膜晶体管(TFT：Thin FilmTransistor)的显示器等的低碱玻璃板。

背景技术

平板显示器通常使用玻璃板作为支承基板。在该玻璃板的表面上形成有TFT等电路图案。因此，在这种玻璃板中，为了不对TFT等造成不良影响，采用了实质上不含有碱金属成分的低碱玻璃板。

另外，玻璃板在薄膜形成工序、薄膜的图案化工序等电路图案的形成工序中暴露于高温气氛。若玻璃板暴露于高温气氛，则玻璃的结构进一步弛豫，因此玻璃板的体积收缩(以下，将该玻璃的收缩称为“热收缩”)。若在电路图案的形成工序中玻璃板产生热收缩，则形成于玻璃板上的电路图案的形状尺寸偏离设计值，难以得到具有所希望的电气性能的平板显示器。因此，对于平板显示器用的玻璃板等在表面形成有电路图案等薄膜图案的玻璃板，期望热收缩率小。

特别是，在具备具有IGZO等氧化物膜的TFT的高精细的显示器用的玻璃板的情况下，在形成氧化物膜时，暴露于例如400℃～500℃这样的非常高的温度气氛中，容易产生热收缩，但若产生热收缩，则由于电路图案是高精细的，因此难以得到期望的电性能。因此，对于这样的用途中使用的玻璃板，强烈期望热收缩率非常小。

另外，作为平板显示器等中使用的玻璃板的成形方法，已知有浮法、以溢流下拉法为代表的下拉法等。

浮法是指，使熔融玻璃流出到充满了熔融锡的浮抛窑上，沿水平方向拉伸而形成玻璃带之后，在设置于浮抛窑下游侧的退火炉中对玻璃带进行退火，从而成形玻璃板的方法。在浮法中，玻璃带的输送方向为水平方向，因此容易将退火炉设置的长。因此，容易充分降低退火炉中的玻璃带的冷却速度。因此，浮法具有容易得到热收缩率小的玻璃板的优点。

然而，在浮法中，存在难以成形薄玻璃板的缺点、必须在成形后对玻璃板的表面进行研磨来除去附着于玻璃板表面的锡这样的缺点。

另一方面，下拉法是将熔融玻璃向下方拉伸而形成为板状的方法。作为下拉法的一种的溢流下拉法是通过将从横截面大致楔形的成形体(forming body)的两侧溢出的熔融玻璃向下方拉伸而成形玻璃带的方法。从成形体的两侧溢出的熔融玻璃沿着成形体的两侧面流下，在成形体的下方汇合。因此，在溢流下拉法中，玻璃带的表面不与空气以外接触，而是由表面张力形成，因此即使在成形后不对表面进行研磨，也不会在表面附着异物，另外，能够得到表面平坦的玻璃板。另外，根据溢流下拉法，还具有容易成形薄的玻璃板这样的优点。