[发明专利]延迟时间测量方法和系统

说明书

一种测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的方法，该方法包括：通过带电粒子射束的脉冲来辐照线路，其中带电粒子射束的脉冲的脉冲重复频率是变化的。该方法还包括：对于脉冲重复频率中的每个脉冲重复频率，响应于通过带电粒子射束的脉冲以相应脉冲重复频率来辐照线路，测量次级带电粒子发射；并且响应于脉冲重复频率的变化，基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年9月11日提交的EP申请20195860.0的优先权，其全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本公开涉及在电路结构中测量信号在线路中传播的延迟时间的方法和系统。

背景技术

集成电路被设计为与精确定时的电信号一起工作。信号被施加到集成电路中的一个节点并且由集成电路中的另一节点接收。另外，节点通过集成电路的线路(诸如金属线路)互连。信号被施加到一个节点的时间与信号被另一节点接收的时间之间可能出现延迟。延迟、或延迟与其预期值的偏差可能不利于集成电路的正常运转。电路延迟可能取决于施加到线路的负载和线路本身。

发明内容

所公开的技术旨在提供一种集成电路的线路的无接触延迟测量。

根据本技术的一个方面，提供了一种测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的方法，该方法包括：

-通过带电粒子射束的脉冲来辐照线路，其中带电粒子射束的脉冲的脉冲重复频率是变化的；

-对于这些脉冲重复频率中的每个脉冲重复频率，响应于通过带电粒子射束的脉冲以相应脉冲重复频率来辐照线路，测量次级带电粒子发射；并且

-响应于脉冲重复频率的变化，基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。

根据本技术的另一方面，提供了一种计算机可读介质，存储指令，这些指令当由计算机执行时，使得计算机执行根据本技术的上述方面的方法。

根据本技术的另一方面，提供了一种用于测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的系统，该系统包括：

-带电粒子射束源，被配置为通过带电粒子射束的脉冲来辐照线路，其中带电粒子射束的脉冲的脉冲重复频率是变化的；

-次级带电粒子发射检测器，用于对于脉冲重复频率中的每个脉冲重复频率，响应于通过带电粒子射束的脉冲以相应脉冲重复频率来辐照线路，测量次级带电粒子发射；以及

-数据处理设备，被配置为响应于脉冲重复频率发生变化，基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。

根据本技术的另一方面，提供了一种确定节点的RC常数的方法，该方法包括：

以可变重复频率生成电子射束脉冲，并且在节点处引导电子射束脉冲；

检测响应于电子射束脉冲而发射的SE；

基于随电子射束脉冲之间的时间而变化的经时间平均的SE来确定节点的RC常数。

根据本技术的另一方面，提供了一种测量信号在电路结构中的线路中传播的延迟时间的方法，该方法包括：

-通过时间间隔为T的带电粒子射束的第一脉冲来辐照线路；

-通过时间间隔为T的带电粒子射束的第二脉冲来辐照线路，其中第二脉冲相对于第一脉冲被延迟了一脉冲延缓时间，并且其中脉冲延缓时间是变化的；

-对于脉冲延缓时间的不同值，响应于通过带电粒子射束的第一脉冲和第二脉冲来辐照线路，测量次级带电粒子发射；以及

-响应于脉冲延缓时间发生变化，基于次级带电粒子发射来导出线路的延迟时间。