[发明专利]光波导元件、光调制器、光调制模块以及光发送装置

权利要求书

1.一种光波导元件，具有：

基板，形成有光波导；以及

电极，形成于所述基板上且具有在所述光波导上交叉的交叉部，所述光波导元件中，

所述光波导包含在所述基板上延伸的凸部，

在沿着所述电极相邻的所述交叉部具有沿着所述电极填埋所述凸部之间并且覆盖所述凸部的上部的、包含树脂的中间层。

2.根据权利要求1所述的光波导元件，其中

所述中间层在俯视时沿着所述电极呈带状。

3.根据权利要求1或2所述的光波导元件，其中

关于所述中间层的上表面，从最靠近所述中间层的端部的所述凸部的上部的位置至所述端部为止的范围大致平坦地构成。

4.根据权利要求3所述的光波导元件，其中

所述中间层的从所述凸部的上表面测量的厚度大于所述凸部距所述基板的面的高度的值。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导元件，其中

所述中间层包含多个层。

6.根据权利要求5所述的光波导元件，其中

构成所述中间层的所述多个层包含一层及配设于所述一层的上方的其他层，

所述其他层包含对所述基板涂布时的粘性高于构成所述一层的一树脂的其他树脂。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的光波导元件，其中

所述光波导包括分别包含相互相邻的多个所述光波导的两个波导组，

所述电极与不同的两个所述波导组的所述光波导的各者构成所述交叉部，

在所述两个波导组的各者中，在沿着所述电极相邻的所述交叉部具有所述中间层，

所述两个波导组的所述中间层构成为沿着所述电极延伸至所述两个波导组之间的、俯视时呈带状的连在一起的共用的层的一部分。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的光波导元件，其中

在所述中间层与所述电极之间具有包含无机材料的缓冲层。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的光波导元件，其中

在所述凸部的上表面与所述中间层之间具有包含无机材料的缓冲层。

10.一种光调制器，包括：

根据权利要求1至9中任一项所述的光波导元件，为进行光的调制的光调制元件；

框体，收容所述光波导元件；

向所述光波导元件输入光的光纤；以及

将所述光波导元件输出的光向所述框体的外部引导的光纤。

11.一种光调制模块，包括：如权利要求1至9中任一项所述的光波导元件，为进行光的调制的光调制元件；以及驱动电路，驱动所述光波导元件。

12.一种光发送装置，包括：

根据权利要求10所述的光调制器、或如权利要求11所述的光调制模块；以及

电子电路，生成用于使所述光波导元件进行调制动作的电信号。