[发明专利]声波器件

说明书

一种声波器件包括压电层和串联臂谐振器和并联臂谐振器，该压电层包括铌酸锂或钽酸锂，串联臂谐振器和并联臂谐振器各自包括在所述压电层上的至少一对第一电极和第二电极。该声波器件使用处于第一厚度剪切模式的体波。串联臂谐振器中的压电层的第一部分的膜厚度不同于并联臂谐振器中的压电层的第二部分的膜厚度。在串联臂谐振器和并联臂谐振器中的每一个中，假设压电层的膜厚度为d并且彼此相邻的第一电极和第二电极的中心之间的距离为p，则比率d/p小于或等于约0.5。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2020年10月23日提交的美国临时申请No.63/104,651的优先权权益。该申请的全部内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及声波器件，每个声波器件包括铌酸锂或钽酸锂的压电层。

背景技术

在已知的声波器件中，既难以调节频率又难以抑制杂散发生。

已知的是，改变覆盖已知声波器件的电极(例如，叉指型换能器电极)的保护膜的膜厚度，以调节声波器件的频率。但是，当保护膜覆盖梯形滤波器的串联臂谐振器和并联臂谐振器两者时，保护膜的膜厚度的变化类似地影响串联臂谐振器和并联臂谐振器两者，这导致分数带宽增加，从而导致更多的杂散发生。

发明内容

在本发明的优选实施例中，可以使用其中压电层的膜厚度在串联臂谐振器和并联臂谐振器之间变化的电子器件，可以使用两种或更多种膜厚度的电极(例如，叉指型换能器电极)，和/或可以使用两种或更多种电极材料。可以调整频率，同时可以抑制杂散发生。

根据本发明的优选实施例，一种声波器件包括压电层和串联臂谐振器和并联臂谐振器，所述压电层包括铌酸锂或钽酸锂，所述串联臂谐振器和并联臂谐振器各自在所述压电层上包括至少一对第一电极和第二电极。所述声波器件使用处于第一厚度剪切模式的体波，并且所述串联臂谐振器中的所述压电层的第一部分的膜厚度不同于所述并联臂谐振器中的所述压电层的第二部分的膜厚度。

根据本发明的优选实施例，所述声波器件包括由铌酸锂或钽酸锂制成的压电层和各自包括设置在压电层上的至少一对第一电极和第二电极的串联臂谐振器和并联臂谐振器。在所述串联臂谐振器和所述并联臂谐振器中的每一个中，假设所述压电层的膜厚度为d并且彼此相邻的所述第一电极和所述第二电极的中心之间的距离为p，则比率d/p小于或等于约0.5。所述串联臂谐振器中的所述压电层的第一部分的膜厚度不同于所述并联臂谐振器中的所述压电层的第二部分的膜厚度。

所述串联臂谐振器中的所述第一电极的质量可以与所述并联臂谐振器中的所述第一电极的质量不同，并且所述串联臂谐振器中的所述第二电极的质量可以与所述并联臂谐振器中的所述第二电极的质量不同。所述声波器件还可以包括保护膜，所述保护膜位于所述压电层的所述第一部分和所述第二部分中的较薄者上方，以覆盖所述串联臂谐振器或所述并联臂谐振器中一者的所述第一电极和所述第二电极。

所述压电层可以包括阶梯部分、第一连接部分和第二连接部分，所述第一连接部分连接到所述阶梯部分以及所述压电层的所述第一部分和所述第二部分中的较厚者，所述第二连接部分连接到所述阶梯部分以及所述压电层的所述第一部分和所述第二部分中的较薄者；并且第一连接部分和第二连接部分中的至少一个可以包括弯曲表面。

所述压电层可以包括阶梯部分、第一连接部分和第二连接部分，所述第一连接部分连接到所述阶梯部分以及所述压电层的所述第一部分和所述第二部分中的较厚者，所述第二连接部分连接到所述阶梯部分以及所述压电层的所述第一部分和所述第二部分中的较薄者；并且所述阶梯部分可以相对于所述压电层的厚度方向倾斜。