[发明专利]调温流体循环装置和调温流体循环系统

说明书

一个实施方式的调温流体循环装置具有：流路，其使由调温部调温后的流体经由流体提供对象而循环；三通阀，其配置于所述流路中的所述流体提供对象的下游侧且所述调温部的调温位置的上游侧的位置，由3个端口中的2个端口之间的部分构成所述流路的一部分；以及旁通流路，其从所述流路中的所述调温部的调温位置的下游侧且所述流体提供对象的上游侧的位置分支，与所述三通阀的3个端口中的剩余1个端口连接。利用压力传感器对在所述流路中的所述流体提供对象的下游侧且所述三通阀的上游侧的位置流通的流体的压力进行检测。而且，按照使所述压力传感器检测出的流体的压力成为指定的目标压力的方式对所述三通阀的开度进行控制。

技术领域

本发明的一个实施方式涉及将调温后的流体向流体提供对象或者温度控制对象输送并再次对经由了流体提供对象或者温度控制对象的流体进行调温的调温流体循环装置和调温流体循环系统。

背景技术

公知有如下的流体循环装置：将由具有压缩机、冷凝器、膨胀阀以及蒸发器的冷冻装置调温后的盐水等流体向温度控制对象侧输送，并利用冷冻装置再次对通过了温度控制对象的流体进行调温(例如，专利文献1：日本特开JP2014-145565A)。

另外，在日本特开JP2013-105359A(专利文献2)中公开了具有多个上述那样的流体循环装置的系统。在日本特开JP2013-105359A的系统中，由2个流体循环装置调温的流体的温度互不相同，能够使2个流体循环装置向温度控制对象侧输送的流体在温度控制对象跟前混合。由此，能够将向温度控制对象侧输送的流体的温度迅速地调整成期望温度。

发明内容

在上述那样的流体循环装置中，从温度控制对象侧返回的流体的温度有时例如根据温度控制对象的状态而大幅变动，其结果为，有时温度控制对象下游侧的流体的压力也大幅变动。这样的压力变动会对温度控制对象上游侧的流体的流通状态造成影响，该影响有可能扰乱流体的流通状态而使调温精度降低。

另外，在专利文献2所公开的系统中，从温度控制对象返回的流体被分配到将流体调温成互不相同的温度的2个流体循环装置。在该情况下，从温度控制对象返回的流体的压力对2个流体循环装置造成的影响可能互不相同。在该情况下，可能产生在温度控制对象跟前混合的流体的比例大幅偏离目标值的状况，因此存在调温精度显著降低的担忧。

本发明是考虑到上述情况而完成的，其目的在于提供能够通过提高流体的循环状态的稳定性来提高基于流体的调温精度的调温流体循环装置和调温流体循环系统。

本发明的一个实施方式的调温流体循环装置具有：流路，其使由调温部调温后的流体经由流体提供对象而循环；三通阀，其配置于所述流路中的所述流体提供对象的下游侧且所述调温部的调温位置的上游侧的位置，由3个端口中的2个端口之间的部分构成所述流路的一部分；旁通流路，其从所述流路中的所述调温部的调温位置的下游侧且所述流体提供对象的上游侧的位置分支，与所述三通阀的3个端口中的与构成所述流路的一部分的2个端口不同的剩余1个端口连接；压力传感器，其对在所述流路中的所述流体提供对象的下游侧且所述三通阀的上游侧的位置流通的流体的压力进行检测；以及控制器，其对所述三通阀进行控制。所述控制器按照使所述压力传感器检测出的流体的压力成为指定的目标压力的方式对所述三通阀的开度进行控制。