[发明专利]包括其中电介质包括阳极多孔氧化物的电容器的电气器件和相应的制造方法

权利要求书

1.一种包括电容器的电气器件，包括：

基板(100)；

在所述基板上方的阳极多孔氧化物区域(105)，所述阳极多孔氧化物区域具有顶表面；

第一电容器电极区域(111A,201A)，其布置在所述阳极多孔氧化物区域中，在所述阳极多孔氧化物区域中从其顶表面(F)延伸，所述第一电容器电极区域具有垂直于所述顶表面的第一壁(108A,202A)；

第二电容器电极区域(111A,201B)，其布置在所述阳极多孔氧化物区域中，在所述阳极多孔氧化物区域中从其顶表面(F)延伸，所述第二电容器电极区域具有垂直于所述顶表面且面对所述第一电容器电极区域的所述第一壁的第二壁(108B,202B)，

所述第一电容器电极区域的所述第一壁和所述第二电容器电极区域的所述第二壁由包括所述阳极多孔氧化物区域的一部分的电介质部分(112)分隔开，使得由所述第一电容器电极区域、所述第二电容器电极区域和所述电介质部分形成电容器(CAP,CAP’)。

2.根据权利要求1所述的电气器件，其中，所述第一电容器电极区域包括分别面对所述第二电容器电极区域的两个基本上平行的第二壁(108B)的两个基本上平行的第一壁(108A)，并且其中，所述电介质部分(112)在面对的所述第一电容器电极区域的每个第一壁与所述第二电容器电极区域的每个第二壁之间延伸。

3.根据权利要求2所述的电气器件，其中，所述第一电容器电极区域(202A)和所述第二电容器电极区域(202B)被布置成互锁梳状结构或互锁螺旋结构。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电气器件，其中，所述电介质部分还包括在所述电介质部分中包括的所述阳极多孔氧化物区域的一部分的至少一组孔(106)的内部的填充材料(109)。

5.根据权利要求4所述的电气器件，其中，所述填充材料布置在所述电介质部分中包括的所述阳极多孔氧化物区域的一部分的所有孔中。

6.根据权利要求4所述的电气器件，其中，在所述电介质部分中包括的所述阳极多孔氧化物区域的一部分的至少一个孔未填充有所述填充材料。

7.根据权利要求4或5所述的电气器件，其中，所述填充材料是电介质材料，或者所述填充材料是高K电介质，或者所述填充材料是低K电介质。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的电气器件，还包括导电图案(104)，所述导电图案布置在所述基板与所述阳极多孔区域之间以及/或者所述基板与所述第一电容器电极区域或所述第二电容器电极区域之间。

9.根据权利要求8所述的电气器件，其中，所述导电图案(104)仅布置在所述基板(100)与在所述第一电容器电极区域与所述第二电容器电极区域之间选择的一个电容器电极区域(111A)之间，并且所述导电图案与所述选择的电容器电极区域电连接至相同的电位。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的电气器件，包括所述电容器(CAPA,CAPB)中的至少两个电容器，所述电容器中的所述至少两个电容器具有不同的电容值和/或不同的击穿电压值。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的电气器件，其中，所述阳极多孔氧化物区域具有在3微米以上或优选地在10微米以上的厚度。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的电气器件，其中，所述电介质部分具有从所述第一电容器电极区域的所述第一壁到所述第二电容器电极区域的所述第二壁测量的、在500纳米以上或在1微米以上的宽度。