[发明专利]高吞吐量的光学计量

权利要求书

1.一种用于样品的光学计量方法，所述方法包括：

在样品的变速移动期间，通过不同波长的多组脉冲照射样品的区域；

收集作为照射的结果而从所述样品反射的光以提供多组帧，每组帧包括与所述不同波长相关联的部分重叠的多个帧；以及

处理所述帧以提供光学计量结果，所述光学计量结果指示所述样品的区域的元素的一个或多个评估参数；其中，处理基于所述多组帧与通过其他光学计量过程获取的参考测量值之间的映射，所述其他光学计量过程展现出的光谱分辨率高于通过照射和收集获取的光谱分辨率。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，其他计量过程是通过集成计量工具执行的集成计量过程。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述不同波长是离散波长。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述样品是裸晶圆，并且其中，所述方法包括在照射和收集期间感测所述裸晶圆的边缘的至少一部分的位置。

5.根据权利要求4所述的方法，包括：基于所述边缘的至少一部分的位置来确定所述区域的位置。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述处理包括基于与所述不同波长中的特定波长相关联的帧和与所述帧相关联的所述区域的位置，生成所述裸晶圆在所述特定波长下的图。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，与同一波长相关联并且属于不同组帧的帧部分重叠。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述映射通过机器学习过程提供。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，所述机器学习过程是通过训练过程训练的，所述训练过程包括向所述机器学习过程供给：(a)通过所述其他光学计量过程和信息获取的一个或多个测试样品的测试测量值，以及(b)通过所述光学计量方法获取的所述一个或多个测试样品的额外测试测量值。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人从腔室移动到盒体时执行的。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人从一个腔室移动到另一个腔室时执行的。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人从集成计量工具移动而来时执行的。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人移动到集成计量工具时执行的。

14.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人在集成计量工具和设备前端模块(EFEM)之间移动时执行的。

15.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集是在所述样品通过机器人在集成计量工具和加工工具的设备前端模块(EFEM)之间移动时执行的。

16.根据权利要求1所述的方法，其中，所述不同波长的数量在4至30之间。

17.根据权利要求1所述的方法，其中，所述不同波长的数量在10至40之间。

18.根据权利要求1所述的方法，其中，其他计量过程是光谱反射测量。

19.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集中的至少一者利用接触图像传感器(CIS)。

20.根据权利要求1所述的方法，其中，照射和收集中的至少一者利用远心物镜。