[发明专利]除膜设备

权利要求书

1.一种用于将透镜晶片与第一衬垫分离的设备，包括：

至少一个空气喷嘴，所述至少一个空气喷嘴包括面向所述透镜晶片的边缘的第一开口端并且被配置成喷射气体，所述至少一个空气喷嘴设置在被配置成保持所述透镜晶片的第一透镜晶片保持器附近，所述透镜晶片具有附接到所述透镜晶片的第一表面的第一衬垫；以及

第一剥离装置，所述第一剥离装置包括：第二透镜晶片保持器，所述第二透镜晶片保持器被配置成保持所述透镜晶片；第一辅助空气喷嘴，所述第一辅助空气喷嘴面向所述透镜晶片并且包括被配置成喷射气体的第一开口；以及至少一个第一吸杯，所述至少一个第一吸杯被配置成接触所述透镜晶片的第一表面上的第一衬垫并且与所述第一衬垫形成真空密封，所述至少一个第一吸杯中的每个吸杯在远离所述透镜晶片的方向上是可缩回的。

2.如权利要求1所述的设备，进一步包括：

抛光装置，所述抛光装置包括被配置成邻接所述透镜晶片的边缘的抛光销；以及

传送臂，所述传送臂被配置成将所述透镜晶片从所述第一透镜晶片保持器移动到所述第二透镜晶片保持器。

3.如权利要求1所述的设备，其中，所述至少一个空气喷嘴被配置成沿着垂直于所述透镜晶片的平面的至少一个方向振荡。

4.如权利要求1所述的设备，其中，

所述至少一个空气喷嘴包括第一空气喷嘴和第二空气喷嘴，

所述第一空气喷嘴在所述透镜晶片的边缘处以15度与35度之间的角度定向于透镜晶片表面的平面上方，并且

所述第二空气喷嘴在所述透镜晶片的边缘处以15度与35度之间的角度定向于所述透镜晶片表面的平面下方。

5.如权利要求4所述的设备，其中，所述第一空气喷嘴和所述第二空气喷嘴设置在所述透镜晶片的相反两侧。

6.如权利要求4所述的设备，其中，

所述至少一个空气喷嘴进一步包括第三空气喷嘴和第四空气喷嘴，

所述第三空气喷嘴在所述透镜晶片的边缘处以15度与35度之间的角度定向于所述透镜晶片表面的平面上方，并且

所述第四空气喷嘴在所述透镜晶片的边缘处以15度与35度之间的角度定向于所述透镜晶片表面的平面下方。

7.如权利要求6所述的设备，其中，所述第一空气喷嘴和所述第三空气喷嘴设置在所述透镜晶片的相反两侧，并且所述第二空气喷嘴和所述第四空气喷嘴设置在所述透镜晶片的相反两侧。

8.如权利要求1所述的设备，进一步包括：边缘刷装置，所述边缘刷装置设置在所述第一透镜晶片保持器附近，所述边缘刷装置包括至少一个刷轮和被配置成旋转所述至少一个刷轮的马达，所述至少一个刷轮被配置成邻接所述透镜晶片的边缘。

9.如权利要求8所述的设备，其中，

所述边缘刷装置包括两个刷轮，

第一刷轮被配置成当邻接所述透镜晶片的边缘时沿第一方向旋转，并且

第二刷轮被设置成当邻接所述透镜晶片的边缘时沿与所述第一方向相反的第二方向旋转。

10.如权利要求8所述的设备，其中，所述边缘刷装置包括真空喷嘴，所述真空喷嘴被配置成取出由邻接所述透镜晶片的边缘的刷轮产生的碎屑。

11.如权利要求8所述的设备，进一步包括：第二剥离装置，所述第二剥离装置包括：第三透镜晶片保持器，所述第三透镜晶片保持器用于保持所述透镜晶片；第二辅助空气喷嘴，所述第二辅助空气喷嘴面向所述透镜晶片并且包括被配置成喷射气体的第一开口；以及至少一个第二吸杯，所述至少一个第二吸杯被配置成接触所述透镜晶片的第二表面上的第二衬垫并且与所述第二衬垫形成真空密封，所述至少一个第二吸杯中的每个吸杯在远离所述透镜晶片的方向上是可缩回的。

12.如权利要求11所述的设备，其中，所述至少一个第一吸杯和所述至少一个第二吸杯各自包括多于一个吸杯。