[发明专利]弹性波装置在审
申请号: | 202180075665.7 | 申请日: | 2021-11-09 |
公开(公告)号: | CN116530011A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 木村哲也 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李国华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
1.一种弹性波装置,连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间,其中,所述弹性波装置具备:
支承构件;
压电层,设置在所述支承构件上,具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴,并且包括Z切割的铌酸锂;以及
IDT电极,设置在所述压电层上,
所述IDT电极具有:相互对置的第1汇流条以及第2汇流条;多个第1电极指,一端与分别所述第1汇流条连接;以及多个第2电极指,一端分别与所述第2汇流条连接,且与所述多个第1电极指相互交错对插,
在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下,d/p为0.5以下,
在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时,所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉,
将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0°以外的角度设为倾斜角α,将所述倾斜角α的绝对值设为|α|,此时,9°≤|α|≤14°。
2.一种弹性波装置,连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间的连接点和接地电位之间,其中,所述弹性波装置具备:
支承构件;
压电层,设置在所述支承构件上,具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴,并且包括Z切割的铌酸锂;以及
IDT电极,设置在所述压电层上,
所述IDT电极具有:相互对置的第1汇流条以及第2汇流条;多个第1电极指,一端与分别所述第1汇流条连接;以及多个第2电极指,一端分别与所述第2汇流条连接,且与所述多个第1电极指相互交错对插,
在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下,d/p为0.5以下,
所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指在与所述压电层的所述Y轴的方向垂直的方向上延伸,在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时,所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉,
将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0°以外的角度设为倾斜角α,将所述倾斜角α的绝对值设为|α|,此时,|α|<9°或14°<|α|。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,
在所述支承构件设置有在所述压电层侧开口的空洞部,
在俯视下,所述IDT电极的至少一部分和所述空洞部重叠。
4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,
所述弹性波装置还具备:声反射膜,设置在所述支承构件与所述压电层之间,
所述声反射膜具有声阻抗相对低的至少一层的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少一层的高声阻抗层,所述低声阻抗层以及所述高声阻抗层交替地层叠。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
d/p为0.24以下。
6.根据权利要求1~5中的任一项所述的弹性波装置,其中,
相邻的所述第1电极指以及所述第2电极指在对置的方向上观察时重叠的区域为激励区域,在将所述多个电极指相对于所述激励区域的金属化比设为MR时,满足MR≤1.75(d/p)+0.075。
7.根据权利要求1~6中的任一项所述的滤波器装置,其中,
构成所述压电层的铌酸锂的欧拉角处于以下的式(1)、式(2)或式(3)的范围,
(0°±10°,0°~20°,任意的ψ)…式(1)
(0°±10°,20°~80°,0°~60°(1-(θ-50)2/900)1/2)或(0°±10°,20°~80°,[180°-60°(1-(θ-50)2/900)1/2]~180°)…式(2)
(0°±10°,[180°-30°(1-(ψ-90)2/8100)1/2]~180°,任意的ψ)
…式(3)。
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