[发明专利]氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物和使用了氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物的研磨方法在审
| 申请号： | 202180079560.9 | 申请日： | 2021-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN116615306A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 祖父江智之 | 申请（专利权）人： | 山口精研工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 龚敏;王刚 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磷酸盐 玻璃 研磨剂 组合 使用 研磨 方法 | ||
1.一种氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其含有二氧化硅、水溶性高分子化合物、酸和/或其盐、以及水，
25℃下的pH值为1.0～9.0的范围。
2.根据权利要求1所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述二氧化硅为胶体二氧化硅，平均粒径D50为10nm～200nm的范围。
3.根据权利要求1或2所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述水溶性高分子化合物为多糖类和/或具有来自不饱和酰胺的结构单元的聚合物。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述酸和/或其盐为无机酸和/或其盐。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述酸和/或其盐为有机酸和/或其盐。
6.根据权利要求3所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述具有来自不饱和酰胺的结构单元的聚合物是含有来自(甲基)丙烯酰胺和/或N-取代(甲基)丙烯酰胺的结构单元以及来自(甲基)丙烯酸和/或其盐的结构单元的共聚物。
7.根据权利要求4所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述无机酸和/或其盐为含磷的无机酸和/或其盐。
8.根据权利要求5所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述有机酸和/或其盐为螯合性化合物。
9.根据权利要求8所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，其中，所述螯合性化合物为选自由二羧酸和/或其盐、三羧酸和/或其盐、聚氨基羧酸系化合物以及膦酸系化合物组成的组中的至少1种。
10.一种使用氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物的研磨方法，其特征在于，使用权利要求1～9中任一项所述的氟磷酸盐玻璃用研磨剂组合物，对氟磷酸盐玻璃进行研磨。
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