[发明专利]气泡率传感器、利用其的流量计以及极低温液体移送管

权利要求书

1.一种气泡率传感器，具备：

绝缘性的内管，具有用于流过极低温液体的贯通孔；

至少一对电极，装备于该内管的外表面；和

隔热层，覆盖所述内管的外周侧。

2.根据权利要求1所述的气泡率传感器，其中，

所述气泡率传感器具备：

环状部，设于所述内管的两端部；

外管，与该环状部的外周部接合，具有第1插通孔；和

第1气密端子，设于所述第1插通孔内，将与所述电极单独连接的导通销在所述第1插通孔内进行固定，

所述隔热层是位于所述内管与所述外管之间的真空空间。

3.根据权利要求2所述的气泡率传感器，其中，

所述第1气密端子具备：

所述导通销；

圆板状的陶瓷基板，在厚度方向上具备用于插入该导通销的第1销孔；和

环状体，围绕该陶瓷基板的外周面，

该环状体包含可伐系合金、Fe-Ni合金、Fe-Ni-Cr-Ti-Al合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Co-Cr合金、Fe-Co合金、Fe-Co-C合金或镍的含有量10.4质量％以上的奥氏体系不锈钢。

4.根据权利要求2或3所述的气泡率传感器，其中，

在所述内管至少任意一端具备具有凸缘部的金属管，将所述环状部和所述凸缘部焊接或钎焊而成。

5.根据权利要求1所述的气泡率传感器，其中，

所述内管包含周向上排列的能分割的偶数个陶瓷构件，

所述气泡率传感器具备：

壳体，围绕所述内管，具有第2插通孔和与所述内管的所述贯通孔连通的连结孔；

环状部，位于该壳体的外侧，在与所述内管相同轴心上具有轴孔；

外管，与该环状部的外周部接合，具有第1插通孔；

第1气密端子，将与所述电极单独连接的导通销在所述第1插通孔内进行固定；和

第2气密端子，将所述导通销在所述第2插通孔内进行固定，

所述真空空间至少位于所述外管与所述壳体之间。

6.根据权利要求5所述的气泡率传感器，其中，

所述第1气密端子以及所述第2气密端子均具有：

所述导通销；

圆板状的陶瓷基板，在厚度方向上具备用于插入该导通销的销孔；和

环状体，围绕该陶瓷基板的外周面，

该环状体包含可伐系合金、Fe-Ni合金、Fe-Ni-Cr-Ti-Al合金、Fe-Cr-A1合金、Fe-Co-Cr合金、Fe-Co合金、Fe-Co-C合金或镍的含有量10.4质量％以上的奥氏体系不锈钢。

7.根据权利要求5～6中任一项所述的气泡率传感器，其中，

所述内管具有向外部开口的凹部，在该凹部的底面装备所述电极。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的气泡率传感器，其中，

在偶数个所述陶瓷构件当中的相互对置的至少一对陶瓷构件分别设置所述电极。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的气泡率传感器，其中，

在所述内管的外周侧装备捆扎所述陶瓷构件的环状的捆扎体。

10.根据权利要求5～9中任一项所述的气泡率传感器，其中，

所述内管的端面以及外侧面的至少任一者与所述壳体的内表面抵接。

11.根据权利要求5～10中任一项所述的气泡率传感器，其中，

所述壳体具备：

框体部，收容所述内管；和

盖部，将该框体部的开口密封，

所述框体部以及所述盖部分别具有与所述内管的贯通孔连通的开口，金属管与所述框体部以及所述盖部焊接或钎焊，以使得经由该各开口与所述贯通孔连通。

12.根据权利要求11所述的气泡率传感器，其中，

所述环状部与所述金属管焊接或钎焊。